真空爐一般由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。

　　真空爐熱處理工藝的操作流程：

　　1、工件在真空狀態(tài)下淬火，應(yīng)使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。

　　2、真空爐的保養(yǎng)應(yīng)在真空或充純氮狀態(tài)下，避免平時不用時吸氣，吸潮。

　　3、國內(nèi)真空爐的壓升率應(yīng)不大于1.33Pa/h，國外某些企業(yè)的標準為0.67Pa/h。

　　4、真空回火爐應(yīng)該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應(yīng)該大于0.2Mpa，流量應(yīng)可調(diào)。

　　5、處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反應(yīng)，形成金黃色的氮化鈦。

　　6、冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。

　　7、真空加熱以輻射為主，工件在爐內(nèi)應(yīng)該保持間距。

　　8、升溫過程中，工件及爐內(nèi)材料會放氣，使真空度下降。

　　9、升溫：放入工件后，一般先預(yù)抽至6.67Pa時方可升溫加熱

　　10、真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規(guī)處理時加熱溫度相同。