設(shè)備真空系統(tǒng)主要由真空室、泵系統(tǒng)和各控制閥及熱交換器組成。其中泵系統(tǒng)由機(jī)械泵、維持泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵等構(gòu)成。閥門包括前級(jí)閥(碟閥)、旁路閥(碟閥)、維持泵閥(碟閥)和高閥(板閥)組成，各閥門均為氣動(dòng)閥，由PLC控制氣動(dòng)閥進(jìn)行控制。加熱室主要由不銹鋼加熱室殼體、不銹鋼反射屏、加熱器、陶瓷絕緣件、水冷電極、爐床等組成。

　　真空釬焊爐的原理：

　　真空系統(tǒng)工作時(shí)，首一先啟動(dòng)機(jī)械泵、維持泵和擴(kuò)散泵（加熱），同時(shí)打開前級(jí)閥和維持泵閥，對(duì)擴(kuò)散泵內(nèi)進(jìn)行抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到系統(tǒng)某一設(shè)定值時(shí)，羅茨泵啟動(dòng)，同時(shí)旁路閥打開，前級(jí)閥關(guān)閉，此時(shí)對(duì)真空室進(jìn)行抽低真空當(dāng)擴(kuò)散泵加熱至規(guī)定溫度并且真空度高于規(guī)定值時(shí)，高閥打開，旁路閥關(guān)閉，前級(jí)閥打開。此時(shí)對(duì)真空室抽高真空，達(dá)到工藝要求的真空度以后，方可進(jìn)行熱處理工作。熱加工過程完成后，由熱交換器對(duì)真空室充入高純氮?dú)膺M(jìn)行強(qiáng)制冷卻，完成整個(gè)工藝過程。