微小型氣體質(zhì)量流量計是基于成都雷宇測控科技有限公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳 質(zhì)的依存關系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。

LY-MF4000系列氣體質(zhì)量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列流量計均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)( MEMS) 流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。*的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對流量計的靈活配置與參數(shù)查詢。LY-MF4000具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用戶在現(xiàn)場調(diào)整或查詢流量計的參數(shù)。

微小型氣體質(zhì)量流量計特點：

靈敏度高，有極小的始動流量；

傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了流量計的高精度計量；

在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高；各種連接方式，易于安裝與使用；

輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù) 據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓；     LED顯示瞬時流量和累積流量，允許現(xiàn)場用鍵盤配置流量計參數(shù)；

可記錄自上電以來瞬時流量的大值和小值，具有超量程指示功能：零點穩(wěn)定度高；

全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性；低功耗、低壓損；

響應速度快。