詳細介紹
光刻機芯片冷卻水冷式冷水機
產(chǎn)品說明:
1.壓縮機超高能效、低噪音、制冷量大;壓縮機延時啟動,內(nèi)外皆置安全保護,性能穩(wěn)定 ;
2.冷凍機渦流水泵;不堵塞、起動扭矩大、密封性好;
3.水箱式蒸發(fā)器內(nèi)置自動補水裝置,方便安裝及保養(yǎng),適用于大溫差小流量等特殊場合;
4.冷凝器為套管或者殼管式,內(nèi)鋪銅管,換熱效果好;
5.壓縮機小于或者等于6hp用毛細管;大于6hp則用美國艾可和丹麥丹佛斯膨脹閥(多機頭除外);
6.電腦PC板,觸摸式控制,安全方便;
7.內(nèi)置外覆絕熱材料的不銹鋼水箱1個;
8.施耐德電器;LAE溫控,溫度3~50℃范圍內(nèi)可控可調(diào),溫差:±1℃;R22冷媒;
9.安全保護系統(tǒng)
壓縮機延時起動保護
冰水泵過載及指示燈
壓縮機過載保護
馬達反轉(zhuǎn)保護及指示燈
壓縮機過載保護及指示燈
冷媒不足保護及指示燈
冷媒高壓安全閥
散熱不良保護及指示燈
故障警報蜂鳴器
冷凍水的壓力和溫度——講解
空調(diào)用冷水機組一般是在標準工況所規(guī)定的冷水回水溫度12℃,供水溫度7℃,溫差5℃的條件下運行的。對于同一臺冷水機組來說,其運行條件不變,外界負荷一定的情況下,冷水機組的制冷量是一定的。此時,通過蒸發(fā)器的冷水流量與供、回水溫差成反比,即冷水流量越大,溫差越?。环粗?,流量越小,溫差越大。所以,冷水機組工況規(guī)定冷水供回水溫差為5℃,這實際上是規(guī)定了機組的冷水流量。這種冷水流量的控制就表現(xiàn)為控制冷水通過蒸發(fā)器的太力降。
在標準工況下,蒸發(fā)器上冷水供回水壓降調(diào)定為0.5kgf/cm2。其壓降調(diào)定方法是調(diào)節(jié)冷泵出口閥門開度,和蒸發(fā)器供、回水閥門開度。閥門開度調(diào)節(jié)的原則是:蒸發(fā)器出水有足夠的壓力來克服冷水閉式循環(huán)系統(tǒng)中阻力;機組在負擔(dān)設(shè)計負荷的情況下運行,蒸發(fā)器進、出水溫差為5℃。此時進、出蒸發(fā)器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右。
按照上述要求,閥門一經(jīng)確定,冷水系統(tǒng)各閥門開度大小就應(yīng)相對穩(wěn)定不變。即使在非調(diào)定工況下運行(如卸載運行)旱,各閥門也應(yīng)相對穩(wěn)定不變。應(yīng)當(dāng)注意,全開閥門加大冷水流量,減少進、出水溫差的做法是不可取的。這樣做雖然會使蒸發(fā)器的蒸發(fā)溫度提高,機組的冷量有所增加,但水泵功率也因此而提高,兩相比較得不償失。所以,蒸發(fā)器冷水側(cè)進、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜。
一般來說,冷水供水管上的壓力,只要能夠滿足克服冷水管系統(tǒng)中管道上的陰力損失就可以了,這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數(shù)來判別。然后通過控制冷水泵出水閥的開度,可以調(diào)節(jié)冷水供水壓力。將出水閥開度關(guān)小,則冷水泵背壓提高,通過水泵的流量減少,水泵功率消耗下降,這時蒸發(fā)器的供水壓力下降,但該壓力無論如何也不應(yīng)低于滿足蒸發(fā)器供、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。
為了冷水機組的運行安全,蒸發(fā)器出水溫度一般不低于3℃。此外,冷水系統(tǒng)雖然是封閉的,在蒸發(fā)器中水側(cè)結(jié)垢和腐蝕不會像冷凝器那樣嚴重,但從設(shè)備檢查維修要求出發(fā),應(yīng)每年對蒸發(fā)器管道的水側(cè)和冷水系統(tǒng)的其他管道清洗一次。
【光刻機芯片冷卻水冷式冷水機】