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水冷式冷水機(jī)半導(dǎo)體光刻機(jī)冷卻

由壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、干燥過(guò)濾器、膨脹節(jié)流閥這五大部分而成，里面沖注適量冷媒（制冷劑），由電器（含控制器）根據(jù)的需求而控制壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)而達(dá)到制冷傳熱的目的。

制冷機(jī)器，又稱冰水機(jī)、冷凍水機(jī)、制冷機(jī)等。能夠循環(huán)制造高低溫、恒溫、恒壓、恒流的循環(huán)冷凍水。蒸汽壓縮冷水機(jī)組包括四個(gè)主要組成部分的蒸汽壓縮式制冷循環(huán)（壓縮機(jī)，蒸發(fā)器，冷凝器，循環(huán)泵），這些機(jī)器可以實(shí)現(xiàn)不同的制冷劑。壓縮式制冷機(jī)利用冷媒作為制冷劑，以達(dá)到制冷效果很強(qiáng)的親和力

主要部件均為進(jìn)口配置壓縮機(jī)采用比澤爾Bitzer、美國(guó)谷輪Copeland、漢鐘Hanbell美國(guó)丹佛斯Danfoss等品牌;除兩器外，其它80％以上制冷元件均采用美國(guó)Danfoss、美國(guó)Alco、法國(guó)Carly、美國(guó)Emerson等品牌;結(jié)合科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)氖┕すに?確保制冷系統(tǒng)的安全可靠。運(yùn)用新型CAD/CAM加工技術(shù)，配合CNC加工中心制作完成，結(jié)構(gòu)緊湊，可靠性高，具有性能穩(wěn)定，外形美觀，高效節(jié)能等。配置*的自動(dòng)控制系統(tǒng);能實(shí)現(xiàn)工藝?yán)鋮s連續(xù)性24小時(shí)運(yùn)行的要求。

操作流程：

1．首先前將電源on。

2．冷卻開(kāi)關(guān)，此時(shí)請(qǐng)注意冷卻水出入口閥門(mén)必須打開(kāi)；（注風(fēng)冷式無(wú)須水塔）。

3．再冷凍水泵開(kāi)關(guān)，靖注意凍水出入口閥門(mén)必須打開(kāi)，經(jīng)延時(shí)開(kāi)關(guān)壓縮機(jī)會(huì)自動(dòng)運(yùn)行，請(qǐng)查視及調(diào)節(jié)所需溫度。

4．關(guān)機(jī)時(shí)，請(qǐng)依相反的順序操作關(guān)機(jī)。

冷水機(jī)操作時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng)

1．冷凍水泵不可在水箱內(nèi)無(wú)水運(yùn)轉(zhuǎn)；

2．操作開(kāi)關(guān)請(qǐng)盡理避免連續(xù)切換；

3．凍水溫度達(dá)到設(shè)定溫度時(shí)，壓縮機(jī)會(huì)自動(dòng)停止運(yùn)行，此屬正?，F(xiàn)象；

4．溫度開(kāi)關(guān)應(yīng)避免設(shè)定在5℃以下，防止蒸發(fā)器結(jié)冰；（低溫冷凍機(jī)除外）。

5．為確保冷水機(jī)制冷效果，保持高效狀態(tài)，請(qǐng)定期清洗冷凝器及蒸發(fā)器和水過(guò)濾器。

冷凍水的壓力和溫度——講解

　　空調(diào)用冷水機(jī)組一般是在標(biāo)準(zhǔn)工況所規(guī)定的冷水回水溫度12℃，供水溫度7℃，溫差5℃的條件下運(yùn)行的。對(duì)于同一臺(tái)冷水機(jī)組來(lái)說(shuō)，其運(yùn)行條件不變，外界負(fù)荷一定的情況下，冷水機(jī)組的制冷量是一定的。此時(shí)，通過(guò)蒸發(fā)器的冷水流量與供、回水溫差成反比，即冷水流量越大，溫差越?。环粗?，流量越小，溫差越大。所以，冷水機(jī)組工況規(guī)定冷水供回水溫差為5℃，這實(shí)際上是規(guī)定了機(jī)組的冷水流量。這種冷水流量的控制就表現(xiàn)為控制冷水通過(guò)蒸發(fā)器的太力降。

　　在標(biāo)準(zhǔn)工況下，蒸發(fā)器上冷水供回水壓降調(diào)定為0.5kgf/cm2。其壓降調(diào)定方法是調(diào)節(jié)冷泵出口閥門(mén)開(kāi)度，和蒸發(fā)器供、回水閥門(mén)開(kāi)度。閥門(mén)開(kāi)度調(diào)節(jié)的原則是：蒸發(fā)器出水有足夠的壓力來(lái)克服冷水閉式循環(huán)系統(tǒng)中阻力；機(jī)組在負(fù)擔(dān)設(shè)計(jì)負(fù)荷的情況下運(yùn)行，蒸發(fā)器進(jìn)、出水溫差為5℃。此時(shí)進(jìn)、出蒸發(fā)器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，閥門(mén)一經(jīng)確定，冷水系統(tǒng)各閥門(mén)開(kāi)度大小就應(yīng)相對(duì)穩(wěn)定不變。即使在非調(diào)定工況下運(yùn)行（如卸載運(yùn)行）旱，各閥門(mén)也應(yīng)相對(duì)穩(wěn)定不變。應(yīng)當(dāng)注意，全開(kāi)閥門(mén)加大冷水流量，減少進(jìn)、出水溫差的做法是不可取的。這樣做雖然會(huì)使蒸發(fā)器的蒸發(fā)溫度提高，機(jī)組的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，兩相比較得不償失。所以，蒸發(fā)器冷水側(cè)進(jìn)、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜。

　　一般來(lái)說(shuō)，冷水供水管上的壓力，只要能夠滿足克服冷水管系統(tǒng)中管道上的陰力損失就可以了，這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數(shù)來(lái)判別。然后通過(guò)控制冷水泵出水閥的開(kāi)度，可以調(diào)節(jié)冷水供水壓力。將出水閥開(kāi)度關(guān)小，則冷水泵背壓提高，通過(guò)水泵的流量減少，水泵功率消耗下降，這時(shí)蒸發(fā)器的供水壓力下降，但該壓力無(wú)論如何也不應(yīng)低于滿足蒸發(fā)器供、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　為了冷水機(jī)組的運(yùn)行安全，蒸發(fā)器出水溫度一般不低于3℃。此外，冷水系統(tǒng)雖然是封閉的，在蒸發(fā)器中水側(cè)結(jié)垢和腐蝕不會(huì)像冷凝器那樣嚴(yán)重，但從設(shè)備檢查維修要求出發(fā)，應(yīng)每年對(duì)蒸發(fā)器管道的水側(cè)和冷水系統(tǒng)的其他管道清洗一次。

【水冷式冷水機(jī)半導(dǎo)體光刻機(jī)冷卻】