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目錄:上海騁利電子科技有限公司>>元器件參數(shù)測試儀器>>半導體器件CV特性測試>> TH513 半導體C-V特性分析儀

TH513 半導體C-V特性分析儀
  • TH513 半導體C-V特性分析儀
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具體成交價以合同協(xié)議為準
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更新時間:2023-12-08 11:42:43瀏覽次數(shù):658評價

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■ 一體化設計:LCR+VGS低壓源+VDS高壓源+通道切換+上位機軟件■ 單管器件(點測)、模組器件(列表掃描)、曲線掃描(選件)三種測試方式■ 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測量及顯示■ 標配2通道,可擴展至6通道,可測單管、多芯或模組器件(TH513僅1通道)■ CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描■ 電容快速充電技術,實現(xiàn)快速測試■ 接觸檢查Cont■ 通斷測試OP_SH■ 自動延時設置■ 柵極電壓VGS:0 - ±40V■ 漏極電壓VDS:0 - ±3000V■ 10檔分選
簡介

TH510系列半導體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當前半導體功率器件發(fā)展趨勢,針對半導體材料及功率器件設計的分析儀器。

儀器采用了一體化集成設計,二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試,無需頻繁切換接線及設置參數(shù),單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試,適用于生產(chǎn)線快速測試、自動化集成。

CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導體材料及功率器件的研發(fā)及分析。

儀器設計頻率為1kHz-2MHz,VGS電壓可達±40V,VDS電壓可達±200V/±1500V/±3000V,足以滿足大多數(shù)功率器件測試。

功能特點

A.一體化測試,集成度高、體積小、效率高

一臺儀器內(nèi)置了LCR數(shù)字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機軟件,將復雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內(nèi),操作更簡單。特別適合產(chǎn)線快速化、自動化測試。

B.單管器件測試,10.1寸大屏,四種寄生參數(shù)同屏顯示,讓細節(jié)一覽無遺

MOSFET或IGBT最重要的四個寄生參數(shù):Ciss、Coss、Crss、Rg,Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試,10.1寸大屏可同時將測量結(jié)果、等效電路圖、分選結(jié)果等重要參數(shù)同時顯示,一目了然。

一鍵測試單管器件器件時,無需頻繁切換測試腳位、測量參數(shù)、測量結(jié)果,大大提高了測試效率。

C.列表測試,多個、多芯、模組器件測量參數(shù)同屏顯示

TH510系列半導體C-V特性分析儀支持最多6個單管器件、6芯器件或6模組器件測試,所有測量參數(shù)通過列表掃描模式同時顯示測試結(jié)果及判斷結(jié)果。

D.曲線掃描功能(選件)

在MOSFET的參數(shù)中,CV特性曲線也是一個非常重要的指標,如下圖

TH510系列半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析,可以以對數(shù)、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描,可同時顯示多條曲線:同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線。

E.的接觸檢查(Contact)功能,提前排除自動化測試隱患

F.的快速通斷測試(OP_SH),排除損壞器件

在半導體器件特性測試時,由于半器件本身是損壞件,特別是多芯器件其中一個芯已經(jīng)損壞的情況下,測試雜散電容仍有可能被為合格,而半導體器件的導通特性才是最重要的特性。

因此,對于本身導通特性不良的產(chǎn)品進行C-V特性測試是沒有必要的,不僅僅浪費了測量時間,同時會由于C-V合格而混雜在良品里,導致成品出貨后被退回帶來損失.

TH510系列半導體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試(OP_SH)功能,可用于直接判斷器件本身導通性能。

G.模組式器件設置,支持定制

針對模組式器件如雙路(Dual)MOSFET、多組式IGBT,有些器件會有不同類型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優(yōu)化,常見模組式芯片Demo已內(nèi)置,特殊芯片支持定制.

H.簡單快捷設置

I.10檔分選及可編程HANDLER接口

J.支持定制化,智能固件升級方式

同惠儀器對于客戶而言是開放的,儀器所有接口、指令集均為開放設計,客戶可自行編程集成或進行功能定制,定制功能若無硬件更改,可直接通過固件升級方式更新。

儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等,都可以通過升級固件(Firmware)來進行更新,而無需返廠進行。

固件升級非常智能,可以通過系統(tǒng)設置界面或者文件管理界面進行,智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級包,并自動進行升級

K.技術解決Ciss、Coss、Crss、Rg產(chǎn)線/自動化系統(tǒng)高速測試精度

同惠電子在電容測試行業(yè)近30年的經(jīng)驗積累,得以在產(chǎn)線、自動化測試等高速高精度測試場合,都能保證電容、電阻等測試精度。

常規(guī)產(chǎn)線測試,提供標準0米測試夾具,直插器件可直接插入進行測試,Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高。

針對自動化測試,由于自動化設備測試工裝通常需要較長連接線,大多自動化設備生產(chǎn)商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差,為此,同惠設計了的2米延長線并內(nèi)置了2米校準,保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。

L.半導體元件寄生電容知識

在高頻電路中,半導體器件的寄生電容往往會影響半導體的動態(tài)特性,所以在設計半導體元件時需要考慮下列因數(shù)

在高頻電路設計中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來的影響;MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅(qū)動能力和開關損耗等多方面特性;寄生電容的電壓依賴性在電路設計中也是至關重要,以MOSFET為例。

M.標配附件


應用

半導體元件/功率元件

二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光

電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析

半導體材料

晶圓切割、C-V特性分析

液晶材料

彈性常數(shù)分析

電容元件

電容器C-V特性測試及分析,電容式傳感器測試分析


技術參數(shù)

產(chǎn)品型號


TH511

TH512

TH513

通道數(shù)


2(可選配4/6通道)


1

顯示

顯示器


10.1英寸(對角線)電容觸摸屏

比例


16:9

分辨率


1280×RGB×800

測量參數(shù)


Ciss、Coss、Crss、Rg,四參數(shù)任意選擇

測試頻率

范圍


1kHz-2MHz

精度


0.01%

分辨率


10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz

100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz

1Hz 100.000kHz-999.999kHz

10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz

測試電平

電壓范圍


5mVrms-2Vrms

準確度


±10%×設定值+2mV

分辨率


1mVrms 5mVrms-1Vrms

10mVrms 1Vrms-2Vrms

VGS電壓

范圍


0 - ±40V

準確度


1%×設定電壓+8mV

分辨率


1mV 0V - ±10V

10mV ±10V -±40V

VDS電壓

范圍


0 - ±200V


0 - ±1500V

0 - ±3000V

準確度


1%×設定電壓+100mV

輸出阻抗


100Ω±2%@1kHz

數(shù)學運算


與標稱值的偏差Δ,與標稱值的百分比偏差Δ%

校準功能


開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD

測量平均


1-255

AD轉(zhuǎn)換時間(ms/次)


快速+2.5ms(5kHz) 快速:11ms 中速:90ms 慢速:220ms

準確度


0.5%(具體參考說明書)

CissCoss、Crss


0.00001pF - 9.99999F

Rg


0.001mΩ - 99.9999MΩ

Δ%


±0.000% - 999.9%

多功能參數(shù)列表掃描

點數(shù)


50點,每個點可設置平均數(shù),每個點可單獨分選

參數(shù)


測試頻率、Vg、Vd、通道

觸發(fā)模式


順序SEQ:當一次觸發(fā)后,在所有掃描點測量,/EOM/INDEX只輸出一次

步進STEP:每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點測量,每點均輸出/EOM/INDEX,但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出

圖形掃描

掃描點數(shù)


任意點可選,最多1001

結(jié)果顯示


同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線

顯示范圍


實時自動、鎖定

坐標標尺


對數(shù)、線性

掃描參數(shù)觸發(fā)方式


VgVd

單次

手動觸發(fā)一次,從起點到終點一次掃描完成,下個觸發(fā)信號啟動新一次掃描

連續(xù)

從起點到終點無限次循環(huán)掃描

結(jié)果保存


圖形、文件



附件
標配
配件名稱型號
TH510夾具控制連接電纜 TH26063D
TH510測試延長線 TH26063G
選配
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