機(jī)臺(tái)名稱:等離子體表面處理系統(tǒng)

機(jī)臺(tái)型號(hào):PMT100A

機(jī)臺(tái)用途:Ar2或O2或干燥Air等氣體通入，不同組合用于不同工藝制造，可用于塑膠工件，金屬基工件，陶瓷、玻璃等工件表面改性，表面清潔等工藝

一、技術(shù)參數(shù)

1、機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格

600(W)×450(H)×550(D)mm

2、真空室規(guī)格

進(jìn)口鋁 200(W)×200(H)×250(D)mm

3、電極板規(guī)格

鋁電極 150(L)×120(W)mm

4、真空電極結(jié)構(gòu)

水平電極板 2層

5、真空泵系統(tǒng)

雙極機(jī)械旋片真空泵

6、PLC自動(dòng)控制系統(tǒng)硬件

工控可編程控制器及擴(kuò)展模塊(D/A轉(zhuǎn)換、A/D轉(zhuǎn)換）德國(guó)西門子

7、人機(jī)工控系統(tǒng)

觸摸屏式全中文界面MCGS

8、PLC及人機(jī)工程軟件

奧坤鑫科技自主研發(fā)

9、真空測(cè)定系統(tǒng)

皮拉尼電阻式真空計(jì)，日本ULVAC

10、真空供氣系統(tǒng)

Ф6品牌軟管

11、真空排氣系統(tǒng)

全不銹鋼管路+波紋管

12、破真空系統(tǒng)

電磁閥式/氣動(dòng)閥，日本CKD

13、氣體控制系統(tǒng)

電磁閥控制

14、氣體計(jì)量系統(tǒng)

一路浮子可調(diào)流量計(jì)

15、等離子發(fā)生器

等離子發(fā)生器 13.56MHz，OKSUN

16、其他組件

國(guó)內(nèi)外元器件

二、技術(shù)指標(biāo)

1、機(jī)臺(tái)總重

約40kg

2、額定功率

額定功率 1KW

3、機(jī)臺(tái)供電

 AC-220V

4、腔體容積

進(jìn)口鋁 200(W)×200(H)×250(D)mm

5、電極板數(shù)量

水平電極2層，極板間距：60mm

6、單層處理大面積

鋁電極 150(L)×150(W)mm

7、單次處理時(shí)間

工藝不同，處理時(shí)間不同,表面活化改性2-10分鐘內(nèi)

8、工作真空度

20-60Pa

9、真空泵極限壓力

4.0X10-2Pa

10、抽真空時(shí)間

≤60秒

11、破真空時(shí)間

≤30秒

12、等離子發(fā)生器功率

等離子發(fā)生器0-500W可調(diào)

13、供氣方式

電磁閥式

14、流量計(jì)調(diào)節(jié)范圍

0.6-6L/m（升/分鐘）

15、操作方式

人工取放工件，一鍵啟動(dòng)自動(dòng)控制