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化學(xué)機械拋光液制備設(shè)備主要用于CMP（化學(xué)機械拋光液）（包括基于氧化硅納米顆粒的拋光液、氧化鈰納米顆粒的拋光液、碳化硅化學(xué)機械拋光液、氧化鋁體系和硅溶膠體系的超精密加工類化學(xué)機械拋光液）的分散和各種微納米材料、新能源材料、無機阻燃劑等的破碎、分散、分級、改性等。
化學(xué)機械拋光液制備設(shè)備的特點：
經(jīng)過測試的工藝路線，已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn)
智能控制，實時監(jiān)測，完整數(shù)據(jù)存儲，直觀顯示圖表
轉(zhuǎn)速可調(diào)，溫度可控，超聲波強度可調(diào)，可定時
操作方便簡潔，清洗容易
技術(shù)參數(shù)：
Items | 實驗型Experiment Type | 生產(chǎn)型Production Type |
溫度Temperature（℃） | -30℃~80℃ | -20℃~80℃ |
分散方式Dispersion Type | 連續(xù)式continuous | 連續(xù)式continuous |
材質(zhì)Material quality | 玻璃、不銹鋼、鈦 glass or stainless steel | 不銹鋼、鈦stainless steel |
規(guī)格Specification | 依容積depend on volume | 定制customized |
流量Flow rate | 50~1000ml/min | 可定制customized |
介質(zhì)粘度media viscosity | ≤104cP | ≤104cP |
攪拌轉(zhuǎn)速agitation speed | 500~3000rpm依實際需求選擇 | 500~3000rpm依實際需求選擇 |
剪切轉(zhuǎn)速agitation speed | 1400~20000rpm依實際需求選擇 | 1400~12000rpm依實際需求選擇 |
電源Power | 220V/50Hz | 220V/50Hz 、380V/50Hz |
超聲功率Ultrasonic power | 200~3000W | 定制customized |
超聲頻率Ultrasonic Frequency | 20KHz、28KHz、40KHz、68KHz | 20KHz、28KHz、40KHz、68KHz |
顯示方式Display model | 數(shù)顯、液晶觸摸屏digital display,LCD touch screen 依據(jù)需要可選擇 | 液晶觸摸屏LCD touch screen |
其它Others | 溫度、功率可調(diào)Temperature、power adjustment | |
