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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè) |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
SONIX™公司是世界500強丹納赫集團(NYSE: DHR)下的全資子公司，是超聲波掃描檢測儀和無損檢測設(shè)備的制造商。 自1986年成立以來，SONIX™在無損檢測領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新，是*家基于微機平臺，提供全數(shù)字化成像方案的公司。 SONIX？ 設(shè)備被廣泛應(yīng)用于各種材料的無損檢測，包括半導(dǎo)體，汽車零件和其他良好元件。 擁有獨立開發(fā)的軟件，硬件和**技術(shù)，這么多年來通過和客戶的不斷合作，實現(xiàn)了SAM技術(shù)的持續(xù)改進。
AutoWafer Pro™: Ultrasonic Equipment for NDT of Bonded Wafers
SONIX AutoWafer Pro™ 是專為全自動晶圓檢測設(shè)計的機型，主要應(yīng)用在Bond wafer，MEMS 內(nèi)部空洞、離層檢測，TSV量測方面。
● 使用于200和300mm晶圓
● 符合一級凈化間標(biāo)準(zhǔn)● Cassette裝載，全自動檢測，支持FOUP或FOSB機械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協(xié)議
● KLARF輸出文件
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