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HEIDENHAIN光柵尺原理
德國HEIDENHAIN光柵尺原理。海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。SUPRADUR 相位光柵：光學三維平面格柵；超*抗污能力；典型柵距：不超過 8um。OPTODUR 相位光柵：光學三維平面格柵，超高反光性能；典型柵距：不超過 2um。METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵線；典型柵距：40um。DIADUR：玻璃基體的超硬鉻柵線（典型柵距：20um）或玻璃基體的三維鉻線格柵（典型柵距：8um）。在最不理想的情況下，可能需要運動機床測量范圍的相當大部分。為加快和簡化“參考點回零"操作，許多海德漢光柵尺或編碼器帶距離編碼參考點，參考點間的間距由數(shù)學算法確定。因此只需運動數(shù)毫米，一旦移過兩個相鄰參考點后，后續(xù)電子電路就能找到絕對參考點位置。當平行光穿過光柵時，以特定的間隔形成明暗的光影區(qū)。掃描光柵位于此處。當兩個光柵相對運動時，入射光進行調(diào)制：在狹縫對齊時，光線通過。光柵條紋的柵距越小，掃描掩膜與光柵尺間的間距越小，公差越嚴。
HEIDENHAIN encoders with optical scanning incorporate measuring standards of periodic structures known as graduations. With the incremental measuring method, the graduation is arranged as a periodic grating structure. The position information is obtained through the counting of individual increments (measuring steps) from any set point of origin. Since the ascertainment of positions requires an absolute reference, the scales or scale tapes feature an additional track bearing a reference mark. The absolute position on the scale, established by the reference mark, is gated with exactly one signal period. Most HEIDENHAIN encoders utilize the photoelectric scanning principle. Photoelectric scanning is performed without contact and thus does not induce wear.
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海德漢光柵尺LC192F ML240mm，ID: 387089-01
海德漢數(shù)控系統(tǒng)ID: 534913-43
HEIDENHAIN編碼器ID: 1169566-52
海德漢讀數(shù)頭ID: 1132407-03
海德漢編碼器RCN223F 16384，ID: 533117-06
海德漢測頭ID: 594878-01
HEIDENHAIN數(shù)控系統(tǒng)ID: 376990-01
HEIDENHAIN測頭TS641，653217-27（老型號517352-17）
海德漢數(shù)控系統(tǒng)ID: 375134-02
海德漢光柵尺LC195F ML1440mm，ID: 760907-14
海德漢讀數(shù)頭ID: 680983-03
HEIDENHAIN長度計MT12W，12mm，ID: 231011-03
海德漢測頭LS603C，ID: 336973-72
海德漢長度計LF481C，ID: 355530-27
HEIDENHAIN讀數(shù)頭AK ERM2480 1024，ID: 1144048-02
HEIDENHAIN編碼器ID: 511389-01
HEIDENHAIN長度計ST1288，ID: 383979-01
海德漢編碼器ERN1387 2048，ID: 749147-02（老型號385487-51）
HEIDENHAIN測頭LC193F ML640mm，ID: 689680-06
HEIDENHAIN數(shù)控系統(tǒng)ID: 636280-01
海德漢測頭EQN425 2048，ID: 1109258-01
HEIDENHAIN讀數(shù)頭LC483 ML570mm，ID: 689678-11（老型號557650-11）
海德漢長度計MT1281，ID: 331314-02
海德漢讀數(shù)頭ID: 315420-04
海德漢長度計ST1278，ID: 383963-03
HEIDENHAIN長度計ID: 827039-06
HEIDENHAIN測頭LC185 ML640mm，ID: 689697-06
HEIDENHAIN柵鼓TTR ERM2400 1024，ID: 1144140-02
HEIDENHAIN讀數(shù)頭，ID: 1144048-61
海德漢數(shù)控系統(tǒng)ID: 243602-06
HEIDENHAIN編碼器ERN1387 001-2048，ID: 749147-02（老型號727221-51）
HEIDENHAIN數(shù)控系統(tǒng)ID: 383965-02
海德漢光柵尺LS477C ML1240mm，ID: 605371-0B
海德漢編碼器ID: 658718-03
HEIDENHAIN光柵尺原理LC195S，ID: 760910-02
光柵尺運作使用的原理。常用光纖傳感器的運作使用的原理全是依據(jù)物理上的上莫爾條紋的產(chǎn)生基本原理開展工作任務的。當使標志光纖傳感器上的線紋與尺標光纖傳感器上的線紋成一視角 來置放兩光柵尺時，必定會導致兩光柵尺上的線紋相互之間交差。在燈源的直射下，交接點近旁的小地域內(nèi)因為黑灰色線紋重合，因此遮光總面積最少，遮光效用最弱，光的積累功效促使這一地域出現(xiàn)亮帶。反過來，距交接點很遠的地域，因兩光柵尺不全透明的黑灰色線紋的重合一部分變得更加少，不全透明地域總面積慢慢增大，即遮光總面積慢慢增大，促使遮光效用變好，只能偏少的光源能利用這一地域穿透光纖傳感器，使這一地域出現(xiàn)暗帶。這類與光纖傳感器線紋基本上豎直，兩色出現(xiàn)的亮、暗帶就是說莫爾條紋。
據(jù)此莫爾條紋的特點，倘若讓我們在莫爾條紋挪動的方位上切 4個觀查窗體 A，B，C，D，且使這 4個窗體兩組距離1/4莫爾條紋總寬，即 W/4。由所述探討所知，當兩光柵尺相對挪動時，莫爾條紋隨著挪動，從4個觀查窗體A，B，C，D能夠獲得 4個在位置上先后超前的或落后 (在于兩光柵尺相對挪動的方位) 1／4周期時間 (即π/2) 的近似于余弦函數(shù)的光強度轉(zhuǎn)變?nèi)^程。若選用感光元器件來檢驗，感光元器件把穿透觀查窗體的光強度轉(zhuǎn)變 轉(zhuǎn)化成相對的工作電壓數(shù)據(jù)信號，設(shè)成 。依據(jù)這4個工作電壓數(shù)據(jù)信號，能夠檢驗出光柵尺的相對挪動。
光柵尺的測量精度還與哪些因素有關(guān)？通常還和導軌的精度、結(jié)構(gòu)剛性、光柵尺和末端點的距離有關(guān)系，對溫度敏感的系統(tǒng)，還和環(huán)境溫度及光柵尺附近熱源有很大關(guān)系。通常導軌有直線度和平行度誤差，讀數(shù)頭只能讀取到光柵尺位置的信息，而我們關(guān)心的位置通常不是光柵尺位置，而是結(jié)構(gòu)上功能點的位置，也就是存在阿貝誤差。結(jié)構(gòu)剛性，光柵尺和末端點的距離都會影響阿貝誤差。溫度的上升和下降，會導致光柵尺的熱膨脹，也會引入誤差。