日本喜開(kāi)理CKD集成化供氣系統(tǒng)伊里德代理：省空間且提高了維護(hù)性的工藝氣體供給系統(tǒng)。從設(shè)計(jì)到制作均可根據(jù)客戶(hù)需要的流程進(jìn)行。1.5inch，采用CS密封。
2006年1月，本公司集團(tuán)制定了全新的企業(yè)理念及經(jīng)營(yíng)理念。并根據(jù)該企業(yè)理念及經(jīng)營(yíng)理念，于2007年4月制定了行動(dòng)準(zhǔn)則。為了明確集團(tuán)公司的前進(jìn)方向，新的企業(yè)理念明確確定為“流體控制與自動(dòng)化的革新”，并積極為社會(huì)做貢獻(xiàn)。為實(shí)現(xiàn)企業(yè)理念，在經(jīng)營(yíng)理念里，將全體員工必須遵守的約定細(xì)分為5個(gè)項(xiàng)目，旨在建立全體員工都能負(fù)責(zé)執(zhí)行的體制。依據(jù)企業(yè)理念及經(jīng)營(yíng)理念，在行動(dòng)準(zhǔn)則里，對(duì)全體員工應(yīng)該遵守并實(shí)踐的具體事項(xiàng)加以規(guī)定。
日本喜開(kāi)理CKD集成化供氣系統(tǒng)伊里德代理
省空間且提高了維護(hù)性的工藝氣體供給系統(tǒng)。從設(shè)計(jì)到制作均可根據(jù)客戶(hù)需要的流程進(jìn)行。1.5inch，采用CS密封。
【集成單元】
通過(guò)緊湊集成標(biāo)準(zhǔn)化部件，構(gòu)建工藝氣體供氣線(xiàn)。
實(shí)現(xiàn)了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設(shè)計(jì)到裝配、檢查完成后交付，可減少客戶(hù)的工時(shí)。
衍生系列
| 型號(hào) | 名稱(chēng) | 內(nèi)容 | 尺寸 | 配管方式 | 備注 |
| IAGD3 | 集成化供氣系統(tǒng) | - | - | CS密封 | |
| MAGD3 | 集成化供氣系統(tǒng)用元件 | 氣控閥 | 1.5inch | - | |
| MOGD3 | 集成化供氣系統(tǒng)用元件 | 手動(dòng)閥 | 1.5inch | - | |
| MFGD3 | 集成化供氣系統(tǒng)用元件 | 流量調(diào)節(jié)閥 | 1.5inch | - | |
| MCGP3 | 集成化供氣系統(tǒng)用元件 | 單向閥 | 1.5inch | - | |
應(yīng)用行業(yè)
- 半導(dǎo)體制造工序（前工序）
- 化學(xué)氣體供給設(shè)備用元件
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