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應(yīng)用領(lǐng)域	電子,航天,汽車,電氣,綜合

ES612A ESD測試儀(HBM、HMM、MM)介紹：

1.描述

ES612A是一款2管腳ESD測試儀，為晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級ESD測試而設(shè)計。該測試儀的波形可以符合HBM、HMM和MM的相關(guān)ESD標(biāo)準(zhǔn)。測試儀上的DC特性測試端口，可搭配數(shù)字源表等DC測試設(shè)備，較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612A可搭配64pin/128pin多管腳自動化測試儀進(jìn)行應(yīng)用擴(kuò)展，也可用作器件質(zhì)檢規(guī)范流程的一步。

ES612A ESD測試儀的脈沖源設(shè)計和注入方法能夠確保被測器件端的波形性能。該設(shè)備內(nèi)置的電流探頭自動抓取脈沖注入時的波形，用于確定保護(hù)電路的導(dǎo)通電平。此外，電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進(jìn)行抓取。由于該設(shè)備還可擴(kuò)展進(jìn)行ESD波形注入前后的DC特性檢測，因此可進(jìn)行ESD事件的損傷判定。

2.特點

低寄生參數(shù)，具有高質(zhì)量脈沖

可定制，可擴(kuò)展

可搭配探針臺進(jìn)行晶圓級測試

外置可選配的自動故障檢測模塊

大尺寸觸摸控制面板，固件可升級

可選配的自動化脈沖注入和故障測量軟件

可選配的脈沖IV和DC IV表征功能

3.應(yīng)用

用于晶圓、封裝、PCB和系統(tǒng)級器件的通用ESD測試

HBM模塊符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750

HMM模塊符合ANSI/ESD SP5.6-2019

MM模塊符合ANSI/ESD STM5.2-2019

4.規(guī)格

ES612A 控制主機(jī)

參數(shù)	ES612A-2K	ES612A-4K	ES612A-6K	ES612A-8K	ES612A-12K	ES612A-20K	單位
輸出電壓	±10~2000	±10~4000	±10~6000	±10~8000	±10~12000	±10~20000	V
最小輸出電壓步長	1V (500V以內(nèi)) 10V (2kV以內(nèi))	1V (500V以內(nèi)) 10V (4kV以內(nèi))	1V (500V以內(nèi)) 10V (6kV以內(nèi))	1V (500V以內(nèi)) 10V (8kV以內(nèi))	1V (500V以內(nèi)) 10V (12 kV以內(nèi))	1V (500V以內(nèi)) 10V (20 kV以內(nèi))	V, kV
輸出電壓精度	優(yōu)于±1%±5V						%
尺寸	347X300X145						mm
重量	5	6	6	6	6	7	kg
電壓、電流測量	電壓、電流測量無源探頭
支持的示波器	Keysight， Tektronix，Lecory主流型號示波器
支持的SMU	Keithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx系列

外置人體模型（HBM ）波形發(fā)生模塊(根據(jù)ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017)

參數(shù)	HBM-2K	HBM-4K	HBM-6K	HBM -8K	HBM -12K	HBM -20K	單位
輸出電壓	±10~2000	±10~4000	±10~6000	±10~8000	±10~12000	±10~20000	V
放電RC值	C: 100pF±10%，R: 1.5k?±1%
短路峰值電流Ips	0.67A±10%每kV						ns
短負(fù)荷上升時間Trs	2<Trs<10						ns
短負(fù)荷衰減時間Tds	130<Tds<170						ns
短負(fù)荷振鈴Irs	<15%of Ips
500Ω負(fù)載峰值電流Ipr	Ipr/Ips≥63%
500Ω負(fù)載上升時間Trr	5<Trr<25						ns

外置人體金屬模型（HMM ）波形發(fā)生模塊(根據(jù)ANSI/ESD SP5.6-2019)

參數(shù)	HMM-8	HMM-24	HMM-36	單位	備注
HMM第一峰值電流	90	90	135	A	3.75A每1kV≤±10% IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)
HMM電流@30ns	48	48	72	A	≤±10% (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的±30% )
HMM電流@60ns	24	24	36	A	≤±10% (優(yōu)于IEC標(biāo)準(zhǔn)的±30% )

外置機(jī)器模型（MM ）波形發(fā)生模塊(根據(jù)ANSI/ESD STM5.2-2019)

參數(shù)	MM-2	MM-4	單位	備注
輸出電壓	±10~2000	±10~4000	V
放電RC值	C: 200pF，R: 0?
短路負(fù)載峰值電流Ip1	1.75±10%每100V		A	如果使用插座公差會不同
短路負(fù)載Ip2	Ip1的67%~90%		A
短路負(fù)載波形周期tpm	66<tpm<90		ns
500?負(fù)載峰值電流Ipr	0.85–1.2		A	@400V符合標(biāo)準(zhǔn)的條件
500?負(fù)載I100	0.23–0.4		A	@400V符合標(biāo)準(zhǔn)的條件
500?負(fù)載I200	測量的I100的30-50%		A

5.訂購信息

編號	型號	描述
ESD測試儀
1.1	ES612A-2K	ES612 ESD測試儀，最高2kV，支持RS232 SCPI
	ES612A-4K	ES612 ESD測試儀，最高4kV，支持RS232 SCPI
	ES612A-6K	ES612 ESD測試儀，最高6kV，支持RS232 SCPI
	ES612A-8K	ES612 ESD測試儀，最高8kV，支持RS232 SCPI
	ES612A-12K	ES612 ESD測試儀，最高12kV，支持RS232 SCPI
	ES612A-20K	ES612 ESD測試儀，最高20kV，支持RS232 SCPI
1.2	ES612A-HBM-2	人體模型2管腳模型，2kV
	ES612A-HBM-4	人體模型2管腳模型，4kV
	ES612A-HBM-6	人體模型2管腳模型，6kV
	ES612A-HBM-8	人體模型2管腳模型，8kV
	ES612A-HBM-12	人體模型2管腳模型，12kV
	ES612A-HBM-20	人體模型2管腳模型，20kV
1.3	ES612A-HMM-8	人體金屬模型2管腳模型，等同8kV HMM
	ES612A-HMM-24	人體金屬模型2管腳模型，等同24kV HMM
	ES612A-HMM-36	人體金屬模型2管腳模型，等同36kV HMM
1.4	ES612A-MM-2	機(jī)器模型2管腳測試儀模型，2kV
	ES612A-MM-4	機(jī)器模型2管腳測試儀模型，4kV
附件
2.1	CT-002-T	電流探頭1kHz至2GHz (優(yōu)于Tektronix CT1&CT2)
2.2	ES62X-CMPS	簡易手動探針臺
2.3	XYZM	XYZ探針座，XYZ可移動500mils，0.01mm每個步進(jìn)
2.4	XYZM-HBM	HBM探針臂
2.5	XYZM-HMM	HMM探針臂(47.5R)
2.6	HBM-TC0.3	0.3mm用于IC探針封裝的變槳測試夾
2.7	HBM-TC2.5	2.54mm用于PCB探針的變槳測試夾(默認(rèn)配置包含1組)
2.8	XYZM-PP048	0.48mm用于封裝級測試的彈簧針 (一包20個)
2.9	XYZM-TN1	鎢鋼針–5mils尖頭，用于晶圓級測試 (一包10個)
第三方設(shè)備
3.1	KSMU2400	SMU，200V，1A，20W，單通道(用于設(shè)備直流自動失效檢測))
3.2	OSC-1G	1 GHz BW，5Gs/S，4通道示波器
ES612A ESD測試儀(HBM、HMM、MM) 自動化解決方案
4.1	HBM-RE64X2	64X2用于HBM自動測試的管腳轉(zhuǎn)接擴(kuò)展模塊
4.2	HBM-RE128X2	128X2用于HBM自動測試的管腳轉(zhuǎn)接擴(kuò)展模塊
4.4	ES62X-PC-SW1	預(yù)裝自動測試軟件的臺式電腦，用于2管腳、脈沖和SMU
4.5	ES62X-PC-SW2	預(yù)裝自動測試軟件的臺式電腦，用于2管腳、脈沖、示波器和SMU
4.6	ES62X-PC-SW3	預(yù)裝自動測試軟件的臺式電腦，用于RE 多管腳、脈沖、示波器和 SMU
4.7	ES650-150	全自動2管腳低寄生機(jī)械自動化方案 (不限制管腳，不需要PCB，PC&包含全自動軟件)

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