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日本歐姆龍OMRON光電傳感器
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂
*的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架
采用抗干擾光的變調(diào)光方式
使用環(huán)保導(dǎo)線(無滑石粉)
晶圓片托架的落座檢測
日本歐姆龍OMRON光電傳感器
特點(diǎn):
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂
*的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架
采用抗干擾光的變調(diào)光方式
使用環(huán)保導(dǎo)線(無滑石粉)
種類:
本體 形狀 | 形狀檢測方式 | 檢測距離 | 動(dòng)作模式 | 導(dǎo)線長 | 型號(hào) |
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| 反射型 | 0~3mm (紅外光) | 有晶圓片托架時(shí)ON | 2m | EE-SPY801 2M |
| EE-SPY802 2M |
附件(另售) 名稱 | 型號(hào) |
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導(dǎo)槽 | EE9-C01 | EE9-C02 |
注: 不具備傳感器的功能。 |
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日本歐姆龍OMRON光電傳感器
額定值/性能:
項(xiàng)目 型號(hào) | EE- SPY801/802 |
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檢測距離 (標(biāo)準(zhǔn)檢測物體) | 0~5mm (反射率90% 白色畫紙15×15mm2) 0~3mm (反射率10% 黑紙15×15mm2) |
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檢測物體 | 晶圓片托架(透明物體、不透明物體) |
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動(dòng)作指示燈 | 物體檢測時(shí)亮燈(橙色) |
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光源(大發(fā)光波長) | GaAs紅外發(fā)光二級(jí)管(940nm) |
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電源電壓 | DC12~24V±10% 紋波(p-p) 5%以下 |
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消耗電流 | 30mA以下 |
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控制輸出 | NPN集電極開路輸出、DC5~24V、100mA以下、關(guān)機(jī)電流0.5mA以下 殘留電壓:0.8V以下(負(fù)載電流100mA時(shí)) 殘留電壓:0.4V以下(負(fù)載電流40mA時(shí)) |
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響應(yīng)時(shí)間 | 5ms以下 |
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使用環(huán)境照度 | 受光面照度 白熾燈、太陽光:各3,000lx以下 |
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環(huán)境溫度范圍 | 工作時(shí):-10~+55℃、保存時(shí):-25~+65℃ (無結(jié)冰) |
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環(huán)境溫度范圍 | 工作時(shí):5~85%RH、保存時(shí):5~95%RH (無結(jié)露) |
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振動(dòng)(耐久) | 1~500Hz 單振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次掃頻、11min/掃頻 |
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沖擊(耐久) | 500m/s2 X、Y、Z各方向 3次 |
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保護(hù)結(jié)構(gòu) | IEC規(guī)格 IP30 |
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連接方式 | 導(dǎo)線引出型(標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)線長2m) |
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質(zhì)量(包裝后) | 本體(傳感器):約43g、附件(導(dǎo)槽):約9g |
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材質(zhì) | 外殼 | 四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE) |
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底板 | 聚苯二甲酸丁二醇酯 |
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附件 | 使用說明書 |
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