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應(yīng)用領(lǐng)域	電氣

OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個加熱區(qū)，可提高溫度均勻性，同時配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。

OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐

性能指標(biāo)和基本配置
爐膛結(jié)構(gòu)	● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） ● 一個直流電機(jī)驅(qū)動爐管轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速為可調(diào) ● 爐體開啟式設(shè)計，方便更換爐管 ● 爐體可以傾斜，傾斜角度可調(diào) ● 設(shè)有開門斷電功能,提高實驗安全性
基本參數(shù)	● 溫度：1100℃（1200℃＜1h） ● 建議升溫速率：≤10℃/min ● 熱偶：K型熱偶 ● 電源：AC208-240，50Hz 最大4KW ● 加熱區(qū)長度：600mm 三溫區(qū)：150mm+300mm+150mm
爐管和法蘭	● 異型石英管，內(nèi)部焊接有揚(yáng)料板，使粉體燒結(jié)更加充分和均勻 ● 尺寸：100 mm OD x 1200 mm L （異型管）
加熱元件	● 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）
溫控系統(tǒng)	● 三個溫區(qū)分別有三個獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 ● 包含一款YD518P型溫度控制器 ● PID自動控溫系統(tǒng) ● 智能化30段可編程控制 ● 控溫精度：±1℃ ● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ● 通過MET認(rèn)證 ● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
爐體傾斜角度	● 可調(diào)范圍：-5° - 25°
氣密配件	● 用磁流體法蘭密封
進(jìn)氣系統(tǒng)	● 四通道精密氣體混合和輸送系統(tǒng)，配有觸摸屏，用于1-4種氣體CVD ● 注意：如果通入的是易燃易爆型氣體，必須將設(shè)備安裝在通風(fēng)柜中
外形尺寸	● 1950mmL X 600mmW X 1320mmH ● 混氣系統(tǒng)：600mmL X 750mmW X 700mmH
設(shè)備凈重	● 回轉(zhuǎn)爐：約130 Kg
使用提示	● 此套設(shè)備可以配合本公司連續(xù)送料裝置來達(dá)到連續(xù)進(jìn)料的效果（圖一、二） ● 對于CVD系統(tǒng)，您可以選擇我們的多通道進(jìn)氣系統(tǒng)（圖三） ● 在收集粉末時需要在密封容器中傳送的情況下，可以在我公司購買與爐管一起安裝的密封裝置。這種裝置包括帶內(nèi)螺紋法蘭、柔性波紋管、直角管、帶有蝶形閥的容器和支撐架?？蛻艨梢院芎唵蔚膶в械y的收集罐與設(shè)備斷開鏈接，并在運(yùn)輸過程保持密封。點(diǎn)擊下列圖片查看詳情（圖三）
真空系統(tǒng)	● 通過機(jī)械泵可達(dá)到10E-2 Torr ● 通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr ● 可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染
質(zhì)保期	● 一年保修，終身技術(shù)支持。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
質(zhì)量認(rèn)證	● 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
使用注意事項	● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐

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