在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而FM450可以滿足市場需求推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當(dāng)有效的方案,用來在線測量露點值。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
露點變送器FM450 在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而FM450可以滿足市場需求推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當(dāng)有效的方案,用來在線測量露點值。
FM450 是一款特別為OEM 應(yīng)用中狹小的空間而設(shè)計小型變送器,可直接安裝在檢測點上,或者根據(jù)需要安裝在采樣系統(tǒng)中。FM450 兩線制回路供電,4 到20 mA 輸出測量范圍涵蓋了露點從-110~ 20℃td 的所有溫度范圍。也可以輸出PPMv 值, 范圍從0.01~23000ppm(v) 。當(dāng)需要輸出是ppm(v) 值時,訂貨時須向廠家提供參數(shù)。
露點變送器FM450產(chǎn)品特點:
性價比高
雙陶瓷納米薄膜技術(shù)電容法
-110℃~+20℃td 露點
0.01~23000ppm(可按要求定制)
*互換,無需設(shè)置或現(xiàn)場校準(zhǔn)
4~20 mA,兩線制
可追溯8 點標(biāo)定證書
精度±2℃td 露點
技術(shù)參數(shù)
測量范圍 | 露點:-110…+20℃td |
測量精度 | 露點:±2℃Td |
壓力范圍 | 400bar |
測量氣體 | 非強腐蝕氣體 |
環(huán)境溫度 | -40℃…+80℃ |
響應(yīng)速度 | T95 約1 分鐘(從干到濕) |
輸出信號 | 4-20mA |
工業(yè)連接 | 5/8" - 18 UNF |
供電電源 | 24VDC(8~36V DC) |
保護(hù)等級 | IP65(NEMA4) |
外殼材料 | 316不銹鋼 |
重復(fù)性 | <0.5%RH ;<0.1℃ |
過濾器 | 20μ不銹鋼燒結(jié) |
重量 | 170g |
流量范圍 | 0.2~5 升/分 0~10 米/秒 |
故障條件 | 故障:23mA (或3.5mA,可設(shè)置) 露點量程低點以下:4mA 露點量程zui高度以上:20mA |
產(chǎn)品尺寸: