詳細介紹
無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。新鄭無塵室凈化工程公司
無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
如表所示,每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的*。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
無塵室按照用途分類:
⑴、工業(yè)無塵室
——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
⑵、生物無塵室
主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;
A、 一般生物無塵室,主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓。實質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)無塵室。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學安全無塵室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負壓。例:細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)新鄭無塵室凈化工程公司
建造選址:
無塵車間地址的選擇應符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費用的原則。廠址應設在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應遠離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。
1、廠區(qū)總圖布局應考慮產(chǎn)品工藝特點和防止交叉污染,按生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。
2、廠區(qū)功能設施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設施以外,還應配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時堆放場地、停車庫、機修、飯?zhí)玫容o助設施.輔助設施必須因地制宜,按實際需要配套,缺一都會影響廠區(qū)環(huán)境衛(wèi)生,影響生產(chǎn)正常進行。
3、設置有無塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對位置及與廠內(nèi)其它廠房設施之間的相對位置,適用于遠離產(chǎn)生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風側,并有一定防護距離的原則。
無塵室構成:
無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:
⑴天花板系統(tǒng)
包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
⑵空調(diào)系統(tǒng)
包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。
⑶隔墻板(Partitional wall)
包括窗戶、門。
⑷地板
包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具
包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建筑主體構造
一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;
B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;
C.吸濕性?。?/span>
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高;
測試目的:
潔凈廠房無塵室測試目的是什么呢?其中很大部分業(yè)主都是根據(jù)凈化工程初的設想來完成測試的指標,當然這是直截了當?shù)哪繕思胺椒?,畢竟我們在建設無塵室的意愿也是如此,要達到我們的空氣潔凈度有需求。在百級無塵室,風速測量的位置可由業(yè)主確定,一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。但是需注明是濾網(wǎng)風速測量(濾網(wǎng)表面)或是無塵室室內(nèi)風速測量(工作高度)。潔凈廠房,無塵室,潔凈室--潔凈廠房無塵室測試目的。
無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計之房間。
氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素,它對噪音也有一些影響。因此風速測量,都是放在無塵室測試的*步。風速測量的目的,是確認濾網(wǎng)送出的氣流滿足設計規(guī)范,其次是確認氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制,室內(nèi)換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。
百級無塵室,很多都是設計成垂直層流,因此風速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。非百級無塵室,由于微??刂频挠^念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠比風速重要,因此多只需要測量風量。