Diener Femto電鏡等離子清洗機主要用于除去透射電鏡樣品及樣品桿上的污染，防止碳沉積以降低圖像分辨率及對樣品微區(qū)分析造成誤判。還可以利用該儀器清洗各類光闌等電子顯微鏡配件。特別適用于場發(fā)射掃描電鏡和場發(fā)射透射電鏡。用這種低能高頻等離子體清洗樣品表面，不會改變樣品元素成份和表面結構特征。

Diener  Femto電鏡等離子清洗機

  主要用于除去透射電鏡樣品及樣品桿上的污染，防止碳沉積以降低圖像分辨率及對樣品微區(qū)分析造成誤判。還可以利用該儀器清洗各類光闌等電子顯微鏡配件。特別適用于場發(fā)射掃描電鏡和場發(fā)射透射電鏡。用這種低能高頻等離子體清洗樣品表面，不會改變樣品元素成份和表面結構特征。

Diener  Femto電鏡等離子清洗機主要技術參數(shù)：

1.可對多孔碳膜進行高效且無破壞的清洗，提高樣品在低電壓下的成像能力，在化學微量分析時提高其精度

2.無油真空系統(tǒng)：泵體部分由多級隔膜泵和超凈音分子泵組成，在保證真空度的同時，可在兩分鐘之內達到抽真空和放氣過程，整個清洗過程在4分鐘內可以完成

3.可清洗標準透射電鏡樣品桿

4.可清洗多孔碳膜

5.清洗時間：普通污染樣品小于2分鐘，重度污染樣品小于10分鐘

6.重現(xiàn)性：可以自動記錄下同類產品清洗的條件，下次清同類產品時可以樣條件進行

Diener  Femto電鏡等離子清洗機技術規(guī)格：

控制方式	手動控制
發(fā)生器	40KHz,0~100W
腔體材質	高硼硅玻璃
腔體尺寸	Dia.90*L280mm
氣路	單路
清清時間	旋鈕式計時器0~99hour
壓力控制范圍	0~2mbar
外型尺寸	W345*D420*H211mm
電源電壓	單相AC230V，16A
真空泵	排氣速度4m3/hour,極限真空度0.5Pa
選配
發(fā)生器	2.45GHz和13.56MHz
腔體材質	石英玻璃
氣路	雙路
計時器	數(shù)字式計時器
減壓閥	配氣路接口
鋼瓶	10L