PDC610等離子清洗機(jī)
zui高輸出:600W,電極尺寸:Φ215×305mm
小型、多段式。
用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
●灰化、蝕刻處理
●塑料封裝前處理
●印刷基板鍍層前處理
●LED關(guān)聯(lián)部品處理
●電子部品清洗
●光刻膠剝離或表面殘留物去除
●光學(xué)、金屬、機(jī)械部品等精密部件的清洗
●包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
●FCC對應(yīng)

PDC610等離子清洗機(jī)

zui高輸出:600W,電極尺寸:Φ215×305mm  
小型、多段式等離子清洗機(jī)。  
用途  
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
●灰化、蝕刻處理
●塑料封裝前處理
●印刷基板鍍層前處理
●LED關(guān)聯(lián)部品處理
●電子部品清洗
●光刻膠剝離或表面殘留物去除
●光學(xué)、金屬、機(jī)械部品等精密部件的清洗
●包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
●FCC對應(yīng)  
特征  
●600W的小型高輸出功率
●電極可選擇1·2·3段（采購時）
●可處理縱型的試料收納盒
●可選擇RIE/DP模式（采購時）
●數(shù)據(jù)記錄器（選配）
●適配點(diǎn)記憶功能（選配）
規(guī)格  

型號	PDC610
等離子模式	RIE/DP（固定模式）
電極構(gòu)造	3段獨(dú)立平行平板（固定）
高頻輸出	Max600W
頻率	13.56MHz
控制·顯示方式	PLC·觸摸屏
反應(yīng)腔尺寸	W350×D270×H300mm
反應(yīng)腔材質(zhì)	A5052
反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（Ar、O2）
填充氣體	N2或干燥空氣
真空泵	油泵（約345L/分）·標(biāo)配
外形尺寸	W600×D722×H700mm
外裝材質(zhì)	不銹鋼
電源	3相 AC200 50/60Hz 15A