產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子,印刷包裝,航天,電氣 |
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產(chǎn)品分類品牌分類
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
KW-4T勻膠機 涂膠機用于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃 等工藝,制版的表面涂覆,具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點,保證涂膠厚度的 一致性和均勻性。
技術(shù)參數(shù)及要求:
基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圓片,最大 100×100mm2方片
轉(zhuǎn)速:250-9000RPM
旋涂設(shè)置:任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:<±1%
旋涂均勻性:<1%
旋涂工藝階段:6 段
旋涂時間:單步工藝 0-1800s,可根據(jù)客戶需求調(diào)節(jié)
整機尺寸(長寬高):210mm×280mm×248mm
裸機尺寸(長寬高):210mm×280mm×155mm
電機功率:40W
適應(yīng)材料:硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料
KW-4T勻膠機 涂膠機配套無油真空泵參數(shù):
型號:KW-550A/KW-550T
抽速:1.5 升/秒
抽氣速率:>60L/min
功率:320W
噪音:50db
真空度:-700mmHg
重量:7.3Kg
尺寸(長寬高):240mm×160mm×230mm