ALIO定制化控制運(yùn)動(dòng)方案

ALIO Industries 的定制運(yùn)動(dòng)控制解決方案——滿足原始設(shè)備制造商的要求

ALIO Industries 提供定制運(yùn)動(dòng)控制解決方案，可為原始設(shè)備制造商客戶帶來巨大價(jià)值。ALIO 專注于納米精度應(yīng)用，可以定制其核心解決方案以滿足確切的客戶需求，推動(dòng)新的創(chuàng)新解決方案的發(fā)展ALIO定制化控制運(yùn)動(dòng)方案。

笛卡爾龍門架

龍門機(jī)器人由安裝在高架系統(tǒng)上的機(jī)械手組成，并允許在水平面上移動(dòng)。

• XY行程200mm – 2000mm

• 加速度  1.5 – 3.5 G

• 線性分辨率<5nm

• 雙向重復(fù)性    小于+/-100NM

• 定位精準(zhǔn)度  ~<1.0µm

SNH 系列是高度可配置的龍門機(jī)器人設(shè)計(jì)，基于 ALIO 久經(jīng)考驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)，可根據(jù)客戶的負(fù)載、吞吐量、精度、行程和預(yù)算進(jìn)行調(diào)整。

客戶可以從低至 100 毫米或高至 1 米以上的 XY 行程以及允許加速度高達(dá) 3.5G 的各種強(qiáng)大的驅(qū)動(dòng)選項(xiàng)中進(jìn)行選擇。龍門架安裝在花崗巖、鋼或鋁框架等剛性底板上，可實(shí)現(xiàn) +/- 1.5µm 的精度。

實(shí)現(xiàn)如此高精度的一個(gè)關(guān)鍵因素是我們的“Yaw Compliance"選項(xiàng)——一個(gè)虛擬旋轉(zhuǎn)軸，可以對(duì)小的角度偏差進(jìn)行精確補(bǔ)償，也可以用作實(shí)際的旋轉(zhuǎn)軸，用于小的預(yù)期角運(yùn)動(dòng)。

將笛卡爾龍門架與可選自由度相結(jié)合，如 z 軸、旋轉(zhuǎn)軸、（倒置）三腳架或混合六 您可能會(huì)在激光加工或增材制造/3D 打印等工業(yè)應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)我們的笛卡爾龍門架，在這些應(yīng)用中，由于樣品無法移動(dòng)或非常大，因此需要高架運(yùn)動(dòng)。

空氣軸承系統(tǒng)

ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空氣軸承運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，6-D指運(yùn)動(dòng)的6個(gè)維度；線性，直線度，平面度，俯仰，偏航和滾動(dòng)。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能證明文件。6-D Nano Precision® 是指在納米級(jí)精度下運(yùn)動(dòng)的身體的所有 6 個(gè)自由度的性能證明文件。空氣軸承系統(tǒng)適用于制造、檢測(cè)/維修和計(jì)量等各種應(yīng)用領(lǐng)域。ALIO Industries空氣軸承運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，是一種用氣浮導(dǎo)軌或空氣軸承做支撐的精密運(yùn)動(dòng)裝置，適用于下一代TRUE NANO®精密應(yīng)用?？諝廨S承系統(tǒng)提供出色的定位性能，適用于高精度要求的應(yīng)用。空氣軸承系統(tǒng)適用于多個(gè)行業(yè)，包括光伏、半導(dǎo)體、噴墨沉積、光刻和光學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域。

空氣軸承系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 零摩擦和無振動(dòng)的平滑移動(dòng)

• 速度穩(wěn)定超高精度的移動(dòng)

• 運(yùn)動(dòng)不產(chǎn)生顆粒，適用于無塵環(huán)境

• 軸承損耗低，表面不易損壞  

真空運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

它是順應(yīng)技術(shù)要求小規(guī)模工作的普遍趨勢(shì)而開發(fā)的納米級(jí)綜合解決方案產(chǎn)品。

采用超低釋氣材料和涂層，以適應(yīng)真空環(huán)境下的要求，這些材料具備低揮發(fā)性、低氣體釋放和良好的真空兼容性。通過對(duì)驅(qū)動(dòng)器、控制器、軸承、反饋系統(tǒng)的精妙選材和對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的出色設(shè)計(jì)，以完成高真空環(huán)境下的納米精度位移。

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