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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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昊量光電喜獲法國(guó)Microlight3D DMD無(wú)掩模光刻機(jī)的獨(dú)代!

閱讀:4305      發(fā)布時(shí)間:2023-2-10
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喜報(bào)!昊量光電喜獲法國(guó)Microlight3D DMD無(wú)掩模光刻機(jī)獨(dú)家代理。

 

上海昊量光電設(shè)備有限公司自2023年1月1日正式成為Microlight3D公司SMART PRINT UV系列DMD無(wú)掩光刻系統(tǒng)的中國(guó)區(qū)獨(dú)家代理商,此次獲得Microlight3D的授權(quán),體現(xiàn)了Microlight3D對(duì)上海昊量光電設(shè)備有限公司市場(chǎng)銷(xiāo)售的專(zhuān)業(yè)度及售后技術(shù)支持力量的高度認(rèn)可。我們將一如既往的為國(guó)內(nèi)廣大用戶提供更為優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

 

Microlight3D成立于2016年,在格勒諾布爾阿爾卑斯大學(xué)(Université Grenoble Alpes,UGA)進(jìn)行了長(zhǎng)達(dá)15年的3D微型打印技術(shù)研發(fā)。格勒諾布爾阿爾卑斯大學(xué)創(chuàng)建于1339年,是一所擁有近七百年歷史的國(guó)立綜合研究型大學(xué),是歐洲最古老的大學(xué)之一,教學(xué)科研實(shí)力處于法國(guó)頂尖、世 界一流水平。作為具有世界影響力的法國(guó)公立大學(xué),格勒諾布爾-阿爾卑斯大學(xué)先后誕生過(guò)3位諾貝爾獎(jiǎng)獲得者(克勞斯·馮·克利青、路易·奈爾、熱拉爾·穆魯),1位圖靈獎(jiǎng)獲得者(約瑟夫·斯發(fā)基斯)。

 

Microlight3D公司一直在快速發(fā)展,得益于Smart Print UV System在各地的實(shí)驗(yàn)室和公立私立研究中心的大量銷(xiāo)售。

 

Microlight3D公司推出的DMD無(wú)掩模光刻系統(tǒng)Smart Print UV系列,是一種基于DMD投影技術(shù)的無(wú)掩模光刻設(shè)備,可兼容多種抗蝕劑和基材。Smart Print UV可以在微米分辨率下產(chǎn)生任何2D形狀,而不需要硬掩模。

 

圖片1.png

 

Smart PrintUV系統(tǒng)特點(diǎn):

 

最小特征尺寸1.5um

可更換目標(biāo)的可調(diào)節(jié)寫(xiě)入?yún)^(qū)域和分辨率

兼容CAD文件及bitmap文件

兼容SU-8g線、h 線、i 線等絕大部分光刻膠

兼容多種基材(硅、玻璃、柔性薄膜、金屬、塑料等)

兼容多種樣品尺寸:2''4''晶圓、4''5''方形或者定制更大尺寸、顯微鏡矩形載玻片、14mm25mm圓形載玻片

反饋相機(jī):聚焦,對(duì)齊,準(zhǔn)直

手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái):360°可旋轉(zhuǎn),精度 0.1°

 

圖片2.png

 

桌面型,占地空間小

曝光速度相比同類(lèi)型產(chǎn)品更快!

ji具性價(jià)比!

軟件操作和設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)單!

交貨周期短!

可免費(fèi)打樣!

 

Smart PrintUV功能選件:

 

1X Objective 磁吸快速更換鏡頭

10.6 mm x 5.9 mm FOV and 15 µm resolution

5X Objective 磁吸快速更換鏡頭

2.1 mm x 1.2 mm FOV and 3 µm resolution

10X Objective 磁吸快速更換鏡頭

1.06 mm x 0.59 mm FOV and 1.5 resolution

 

圖片3.png

 

4" 晶圓樣品支架

玻璃載玻片樣品支架

 

圖片4.png

 

多用途大型樣品支架

兼容4" & 5" 方形基板, 2" & 4" 晶圓, 顯微鏡載玻片, 14 mm & 25 mm 圓形載玻片

 

圖片5.png

 

定制化樣品支架

根據(jù)客戶要求,可適應(yīng)更大樣品尺寸多個(gè)樣品兼容柔性膜材基底New!

保修期延期

設(shè)備保修期2年,軟件免費(fèi)升級(jí)2


Smart PrintUV核心規(guī)格

 

型號(hào)

SP-UV.Standard

SP-UV.Advanced

光源

曝光波長(zhǎng):385nm;校準(zhǔn)波長(zhǎng):590nm

最小特征尺寸

1.5um

對(duì)準(zhǔn)準(zhǔn)度(1cm2區(qū)域)

2um

1um

拼接精度

2um

1um

最大曝光范圍

70×70mm2

110×110mm2

尺寸

4英寸(wafer)

5英寸(方形)

寫(xiě)入速度

77mm2/min

220mm2/min

系統(tǒng)尺寸

長(zhǎng)××高:52(cm)×52(cm)×69(cm)

軟件包:

電腦

Windows 10Pro, 24inch屏幕

SFTprint軟件

機(jī)器控制、步進(jìn)重復(fù)、自動(dòng)劑量測(cè)試、拼接、對(duì)齊

SFT轉(zhuǎn)換器

將標(biāo)準(zhǔn)CAD格式(gdsii、dxfcif、oas)轉(zhuǎn)換為機(jī)器格式;包含CAD軟件

鏡頭選項(xiàng):

物鏡

1X

2.5X

5X

10X

寫(xiě)入?yún)^(qū)域(mm

10.56×5.94

4.2×2.4

2.1×1.2

1.06×0.59

最小線寬(um

15

6

3

1.5

 








Smart PrintUV應(yīng)用領(lǐng)域:


 

Smart Print UV需要制作表面微圖案、微結(jié)構(gòu)的任何應(yīng)用領(lǐng)域的wan美設(shè)計(jì),如MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學(xué),生物技術(shù)和微電子。

 

Microlight3D公司還有另外一款明星產(chǎn)品-雙光子聚合3D納米光刻機(jī)。

2007年,第一代雙光子聚合3D納米光刻機(jī)microFAB-3D問(wèn)世,在中國(guó)大陸、中國(guó)臺(tái)灣和歐洲地區(qū)有大量的銷(xiāo)售。

2018年,公司獲得了法國(guó)研究與創(chuàng)新部頒發(fā)的公共研究領(lǐng)域最 ju創(chuàng)新力年輕公司獎(jiǎng)。

2019年,推出了第一代緊湊型桌面式雙光子聚合3D納米光刻機(jī)。

       2019年,Microlight3D完quan收購(gòu)了無(wú)掩模光刻系統(tǒng)制造商SmartForceTechnologies

 

圖片6.png

 

未來(lái),上海昊量光電設(shè)備有限公司將獲得Microlight3D更多的資源支持,昊量光電也將繼續(xù)秉承互利共贏的發(fā)展理念,充分發(fā)揮自身強(qiáng)大的專(zhuān)業(yè)技術(shù)溝通和服務(wù)優(yōu)勢(shì),力爭(zhēng)為國(guó)內(nèi)MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學(xué),生物技術(shù)和微電子等應(yīng)用領(lǐng)域的研究和推廣貢獻(xiàn)一份力量,滿足并不斷超越客戶的期望,致力于為國(guó)內(nèi)前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國(guó)智造與中國(guó)創(chuàng)造。

歡迎繼續(xù)關(guān)注上海昊量光電的各大媒體平臺(tái),我們將不定期推出各種產(chǎn)品介紹與技術(shù)新聞。


更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國(guó)防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開(kāi)發(fā),軟件開(kāi)發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)。

 

產(chǎn)品展示

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