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目錄:上海西努光學(xué)科技有限公司>>三維形貌量測(cè)設(shè)備>> MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備

MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備
  • MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
屬性

產(chǎn)地類別:國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域:綜合

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更新時(shí)間:2024-11-22 13:23:14瀏覽次數(shù):270評(píng)價(jià)

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備:光譜共焦位移傳感器是一種通過光學(xué)色散原 理建立距離與波長(zhǎng)間的對(duì)應(yīng)關(guān)系,利用光譜 儀解碼光譜信息,從而獲得位置信息的裝置。

MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備:光譜共焦傳感器結(jié)構(gòu)

光譜共焦位移傳感器是一種通過光學(xué)色散原  理建立距離與波長(zhǎng)間的對(duì)應(yīng)關(guān)系,利用光譜    儀解碼光譜信息,從而獲得位置信息的裝置。

在光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中,

系統(tǒng)的測(cè)量范圍受4個(gè)方面的因素影晌:

1. 光源光譜分布范圍

2. 色散鏡頭在工作波段范圍內(nèi)的軸向色差

3. 光譜儀的工作波段

4. 光纖耦合器的工作波段

MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備


光譜共焦優(yōu)勢(shì)

多功能光譜共焦傳感器


我們的光潛共焦傳感器通過高品質(zhì)光學(xué)鏡頭沿汜光軸在不同距離而非單個(gè)點(diǎn)上聚焦白光,所有的可見光波段都 在焦點(diǎn)上。這種多功能的光學(xué)傳感器為測(cè)雯技術(shù)開辟了新的維度。


·任何材料都可測(cè)試- 非透明/ 透明材料,漫反射/ 反射, 吸收,彩色,粗糙/ 拋光

·同軸測(cè)試避免了陰影的影響

·斜面接受度和數(shù)值孔徑使得可測(cè)量角度在反 射表面可達(dá) 45° , 漫射率表面> 80°

· Z 軸分辨率和精度- 無需 Z 軸掃描獲取測(cè)試 結(jié)果,每個(gè)測(cè)試點(diǎn)都可傳遞一個(gè)測(cè)試值

·超快測(cè)試速度的多點(diǎn)線陣傳感器允許多點(diǎn)平行測(cè)試

·小且恒定的光斑尺寸可實(shí)現(xiàn)高的橫向分辨率

·光學(xué)探頭被動(dòng),無需移動(dòng)任何部件或者嵌入電

路- 可保證高的熱穩(wěn)定性,長(zhǎng)時(shí)間的可靠性和重復(fù)性


MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備


測(cè)量方式對(duì)比


數(shù)碼類顯微鏡

- 表面形貌需要做景深疊加,速度慢 - 視野小

- 掃描精度取決于Z軸電機(jī)和物鏡景深

 

  

激光共聚焦類顯微鏡

- 表面形貌需要逐層掃描,速度慢 - 視野小

- 人為數(shù)據(jù)量測(cè)

 

 

 

三角反射型類光譜共焦

- Z軸分辨率更低

- 掃描易出現(xiàn)盲區(qū)

- 透明材質(zhì)和鏡面材質(zhì)效果不佳

 

 

 

白光干涉

- 使用及維護(hù)成本高

- 不適合較大的樣品和起伏比較大的樣品

- 對(duì)表面比較粗糙的樣品效果不佳



MTS優(yōu)勢(shì)

 非接觸式無損測(cè)量

 最高20nm的Z軸分辨率 

 無需景深疊加速度更快

 樣品表面反射率不受限制 

 提供表面三維全部信息

 可自定義掃描區(qū)域

 可接入Q-DTS

 可接入西勵(lì)牛油果AI


MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備

MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備

MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備

MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備

MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備

MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備

MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備


MTS系列三維形貌量測(cè)設(shè)備技術(shù)參數(shù)



MTS 01

MTS 02

 

 

 

 

 

光學(xué)模組

量程 1 /mm

0.2

1

0.24

0.6

10.6

點(diǎn)數(shù)/線

192

1200

線長(zhǎng)/mm

0.96

1.91

1.18

2.36

11.9

點(diǎn)間隔/μm

5

10

0.98

1.97

9.9

Z軸分辨率/nm

20

80

25

50

800

精度 2 /nm

±80

±300

±125

±250

±4000

 

 

 

 

 

 

 

 

四軸電動(dòng)平臺(tái)

采樣速率/Hz

6000

36000

XY軸行程/mm

350X350

XY軸定位精度/μm

±0.3

XY軸重復(fù)定位精度/μm

±0.15

Z軸行程/mm

5mm

Z軸定位精度/μm

±0.2

Z軸重復(fù)定位精度/μm

±0.1

T軸定位精度

±2 arcsec

T軸重復(fù)定位精度

±1 arcsec

掃描速度/mm/s

80

 

 

2D定位相機(jī)

有效像素

2464×2056

視野大小

8.6x7.2mm

光源

LED點(diǎn)光

 

 

 

軟件系統(tǒng)

光譜共焦采集功能

導(dǎo)航圖采集,定位功能

可選配Q-DTS數(shù)據(jù)互聯(lián)模塊,牛油果AI

2D&3D測(cè)量

長(zhǎng)度、寬度、高度、角度、體積等測(cè)量工具

電腦系統(tǒng)

可定制軟件功能

報(bào)表輸出

Word、Excel等

 

①2kHz以上,測(cè)試量程隨頻率增加而降低

②20° C時(shí)垂直鏡面測(cè)量

所給數(shù)據(jù)來源于典型應(yīng)用中的測(cè)試,與其他特定情況的測(cè)試會(huì)有差異。后續(xù)印刷錯(cuò)誤,修訂,更新也會(huì)造成與表格中所列技術(shù)參數(shù)的不同。因此,不保證表格中此產(chǎn)品所給技術(shù)參數(shù),測(cè)量結(jié)果和信息的一致性。


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