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當前位置:上海富瞻環(huán)??萍加邢薰?/a>>>物理特性儀器>>測厚儀>> MProbe NIR反射膜厚儀
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號MProbe NIR
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
更新時間:2023-05-22 17:02:09瀏覽次數(shù):405次
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應用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,制藥 |
產(chǎn)品品牌:Semiconsoft
產(chǎn)品型號:MProbe NIR
采用近紅外光譜(NIR)的測厚儀可以用于測量一些可見光和紫外光無法使用的應用領(lǐng)域,比如在可見光范圍內(nèi)有吸收的太陽能薄膜(CIGS, CdTe)可以快速的測量。
測量范圍: 100 nm -200um
波長范圍: 900 nm -2500 nm
適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
測量指標:薄膜厚度,光學常數(shù)
界面友好: 一鍵式測量和分析。
實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態(tài)測量和產(chǎn)線批量處理。
(MProble NIR薄膜測厚儀系統(tǒng)示 )
案例1,73nm SiN氮化硅薄膜的測量
硅晶圓反射率,測量時間10ms
使用Tauc-Lorentz模型,測量SiN薄膜的n和k值
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