產(chǎn)品型號(hào)：ME2

     技術(shù)原理：質(zhì)量抽?。ㄎ⒘髁繖z測(cè)技術(shù)）

     技術(shù)特性：

     1）分子滑動(dòng)黏性流真空壓力范圍：0.5 - 10 torr

     2）微流量傳感器    IL2-M ：校準(zhǔn)壓力在2Psia，泄漏率1×10-4 sccs（相當(dāng)于3um的泄漏孔徑）

     3）高真空微流量傳感器:  IMFS：校準(zhǔn)壓力在0.01-0.2psia 泄漏率7×10-7sccs （相當(dāng)于0.2um的泄漏孔徑）

      技術(shù)軟件：

         CFR211測(cè)試軟件：由ATC基于微軟系統(tǒng)開(kāi)發(fā)的應(yīng)用軟件，即Leak-Rx軟件。符合FDA CFR211 Part 11法規(guī)要求。該軟件主要用于數(shù)據(jù)采集、記錄、分析，記錄，以及保證數(shù)據(jù)的完整性，安全性，用來(lái)追蹤用戶對(duì)該系統(tǒng)的操作.

      具體操作：包含三級(jí)權(quán)限賬戶設(shè)置

       1）審計(jì)追蹤：追蹤用戶并記錄用戶的操作時(shí)間及參數(shù)的設(shè)定與更改，審計(jì)追蹤生成器可直觀易操作根據(jù)用戶的設(shè)定的參數(shù)類型，時(shí)間，生產(chǎn)批次號(hào)，用戶號(hào)等快速查詢.

       2）數(shù)據(jù)完整性：如果有數(shù)據(jù)更改或者變更軟件會(huì)提示警告用戶保證數(shù)據(jù)文件的有效性.

           校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件：

      自檢孔：玻璃或者藍(lán)寶石自檢孔含：1.過(guò)濾器2.一份標(biāo)定證書(shū)，可追溯性，符合美國(guó)機(jī)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn).

      3）自適應(yīng)測(cè)試功能：

          ATC特殊的測(cè)試技術(shù)，可以讓智能微流量傳感器學(xué)習(xí)測(cè)試曲線。依據(jù)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的動(dòng)態(tài)來(lái)判定被測(cè)試產(chǎn)品是否符合標(biāo)準(zhǔn)。

      智能微流量傳感器是通過(guò)一組測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，來(lái)實(shí)時(shí)判定試驗(yàn)合格與否的一種自適應(yīng)方法。自適應(yīng)測(cè)試能在測(cè)試結(jié)束之前根據(jù)事實(shí)情況來(lái)判斷被測(cè)試樣合格與否，然后確定是否有必要繼續(xù)進(jìn)行試驗(yàn)，這個(gè)特點(diǎn)能有效縮短測(cè)試周期，減少25-40%的測(cè)試時(shí)間來(lái)提高效率.