詳細(xì)介紹
8742型BURKERT質(zhì)量流量控制器用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復(fù)性好。
8742型BURKERT質(zhì)量流量控制器參數(shù)
標(biāo)稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復(fù)性高
防護(hù)等級 IP65
基于 CANopen 的現(xiàn)場總線通信能力
可選:ATEX II 類別 3G/D
8742型BURKERT質(zhì)量流量控制器/測量儀設(shè)計(jì)用于 büS 或 CANopen 通訊。büS 網(wǎng)絡(luò)技術(shù)以 CAN 物理設(shè)施為基礎(chǔ),是 Bürkert 專門針對具有多個(gè)控制段,通過工業(yè)以太網(wǎng)或其他現(xiàn)場總線運(yùn)行的應(yīng)用而開發(fā)出的技術(shù)。與 ME2X 型系統(tǒng)控制單元 (SCU,System Control Unit) 組合使用,可以將信息傳輸給客戶的現(xiàn)場總線,從而實(shí)現(xiàn)以 CANopen 為基礎(chǔ)的通信。質(zhì)量流量控制器 (MFC)/ 質(zhì)量流量計(jì)(MFM) 可以隨時(shí)在 büS 和 CANopen 通信之間切換。因此,8742 型設(shè)備可以直接集成到現(xiàn)有的 CANopen 網(wǎng)絡(luò)中。8742 型設(shè)備可以根據(jù)需要配置為 MFM 或 MFC??梢葬槍煞N不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。熱式 MEMS 傳感器直接位于氣流中,反應(yīng)速度極快。Bürkert 生產(chǎn)的直動(dòng)式比例閥具有*的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備的控制特性。防護(hù)等級和防爆等級高,使得8742型BURKERT質(zhì)量流量控制器尤其適用于惡劣的應(yīng)用環(huán)境。