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300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產(chǎn)品之一。它采用經(jīng)典的斐索型共光路設(shè)計,結(jié)構(gòu)簡單、在適用于多種被測樣品的前提下,使用數(shù)字...
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