簡(jiǎn)單介紹

　　深圳無(wú)塵烤箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。Class100CleanOvens

　　深圳無(wú)塵烤箱的詳細(xì)介紹

　　系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

　　一．用途:

　　PVC無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

　　二．特點(diǎn)：

　　1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class100

　　2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

　　3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.AFilter20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)

　　4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*溫度控制精度。

　　三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

　　1.主要技術(shù)指標(biāo)：

　　無(wú)塵等級(jí)：Class100;溫度范圍：60～+300℃；

　　溫度均勻度：200℃±4℃;溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）

　　溫控精度：±0.1℃;工作尺寸：W800×D600×H1300

　　電源：380v,50Hz，15KW網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

　　潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理

　　HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。

　　M計(jì)裝可編程控制

　　1模式20步驟，zui多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。

　　簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝

　　標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器。

 　　2、箱體結(jié)構(gòu)：

　　烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；

　　箱體材料：外箱采用SUS304，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；

　　內(nèi)膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生PARTICLE；

　　中桶材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

　　3、溫控系統(tǒng)：

　　采用韓國(guó)“三元”SAMWONTECH溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，精確度±0.3%FS。；

　　訊號(hào)來(lái)源：采用PT100熱電阻±0.5%。

　　輸出被控制組件：SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。

　　4、完善的安全保護(hù)措施：

　　漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、超溫防止保護(hù)裝置、電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、

　　馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示逆向防止器、門面安全開關(guān)

　　5、選購(gòu)設(shè)備(需另外收費(fèi))：

　　可程式溫控器無(wú)紙記錄儀三色指示燈烘烤架

　　注:無(wú)塵等級(jí)和尺寸可根據(jù)要求定制。