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大平臺(tái)顯微鏡奧林巴斯OLYMPUS MX61L

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更新時(shí)間:2023-12-01 13:44:52瀏覽次數(shù):1512

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大平臺(tái)顯微鏡奧林巴斯OLYMPUS MX61L
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡MX61L,透反射照明型顯微鏡是OLYMPUS MX61型號(hào)的升級(jí)版本,L即為長(zhǎng)工作距離,適用大300mm的樣本,大平臺(tái)的顯微鏡。
能對(duì)應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)(反射透射兼用)
應(yīng)對(duì)明視場(chǎng)觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)連動(dòng)的亮度光圈等,實(shí)現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。

詳細(xì)介紹

大平臺(tái)顯微鏡奧林巴斯OLYMPUS MX61L
OLYMPUS MX61/61L 產(chǎn)品特點(diǎn)縮短檢查用時(shí),提高檢查效率自動(dòng)聚焦附件 MX-AF透射光檢查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX的自動(dòng)聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式,甚至包括暗視場(chǎng)和微分干涉相襯觀察。實(shí)現(xiàn)快速和精確的自動(dòng)對(duì)焦,甚至觀察方式轉(zhuǎn)換時(shí)也能實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的找到焦面。兩種照明裝置可選,通用型及高數(shù)值孔徑型。為FPD,MASK板檢查提供合適的照明,并且可配備起偏鏡,實(shí)現(xiàn)投射光簡(jiǎn)易偏光觀察。高反差,更高分辨率,更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式共聚焦附件 U-CFU熒光分光鏡模塊共聚焦光學(xué)系統(tǒng)可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可達(dá)0.18μm,并可對(duì)多層線條的器件分層對(duì)焦,獲得高分辨率,高反差的共焦圖像。

    備有U.B.G等多種熒光方式可選,用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數(shù)獲得 RS232C用于晶圓以及器件,甚至焊腳的內(nèi)部檢查 近紅外線觀察附件MX61/MX61L標(biāo)配包括一個(gè)RS232C接口,使得用PC控制顯微鏡電動(dòng)部分成為可能,并且可以實(shí)現(xiàn)使工藝線上的幾臺(tái)顯微鏡都在同樣的設(shè)定狀態(tài)下工作。包括專門的紅外物鏡等附件,對(duì)從可見(jiàn)光到近紅外波段光線的像差做矯正,用于IC深層或內(nèi)部檢查,可實(shí)現(xiàn)對(duì)WAFER BUMP的全面檢查。

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