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產品介紹：
名 稱：高精密勻膠機
型 號：SC100-SE
原產地：
應 用：SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。
產品概述：
SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。
不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng)，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復性。
性能參數：
l 主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）
l 旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可到0.1秒
l 轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）
l 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
l 馬達旋涂轉速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm
l 轉速調節(jié)精度<1rpm
l 重復性< 1rpm
l 工藝時間設定： 0-3,000 sec/step
l 時間設置精度：0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）
l 旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）
產品特點：
l 內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。
l 7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。
l Telon ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。
l 標準配置轉速10000rpm，并可根據用戶需要進行定制。
l 采用工業(yè)級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
l 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，生銹，便于清洗。
l 排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部（以利于排風效率和勻膠均一性）。
l 透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
產品外型尺寸：
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結構
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