目錄:上海屹持光電技術(shù)有限公司>>半導(dǎo)體參數(shù)分析儀>> RTM 2半導(dǎo)體參數(shù)分析儀對(duì)標(biāo)Keithley 4200A-SCS
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參考價(jià)：￥1000 ~ ￥100000
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,電氣,綜合 |
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半導(dǎo)體參數(shù)分析儀 ，對(duì)標(biāo)Keithley 4200A-SCS
Tensormeter專(zhuān)為自動(dòng)精密測(cè)量電阻和電壓而設(shè)計(jì)。Tensormeter設(shè)備的特點(diǎn)是其基于集成矩陣開(kāi)關(guān)的創(chuàng)新靈活架構(gòu)。該開(kāi)關(guān)矩陣使得測(cè)量不僅限于傳統(tǒng)的四線阻抗測(cè)量，還包括張量測(cè)量、范德堡測(cè)量等，并且使設(shè)備能夠補(bǔ)償自身的漂移、偏移和噪聲，從而實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的穩(wěn)定性。Tensormeter RTM2能夠使用單一設(shè)備實(shí)現(xiàn)電阻張量（縱向和橫向電阻）的自動(dòng)記錄，甚至可以在未加模式的薄膜上進(jìn)行。它結(jié)合了鎖相放大器和源/測(cè)量單元的優(yōu)點(diǎn)，并具有出色的交流和直流性能。其測(cè)量范圍涵蓋從納歐姆到太赫茲，至少有8位數(shù)字的動(dòng)態(tài)范圍。
應(yīng)用領(lǐng)域：
材料研究與表征：固體物理學(xué)；半導(dǎo)體物理學(xué)；磁學(xué)；柔性電子學(xué)；自旋電子學(xué)；新型功能電子材料和器件
工業(yè)研發(fā)和晶圓/器件測(cè)試：微電子器件；存儲(chǔ)器件；晶體管、二極管；LED/OLED；太陽(yáng)能電池；顯示器、TCO（導(dǎo)電氧化物透明電極）；傳感器
優(yōu)勢(shì):
取代了所有用于電性特性測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備（例如鎖相放大器、源/測(cè)量單元、數(shù)字萬(wàn)用表）。
通過(guò)集成的矩陣開(kāi)關(guān)克服了固定4點(diǎn)測(cè)量的局限性。
提供van-der-Pauw和電阻張量測(cè)量的預(yù)設(shè)，并允許用戶(hù)進(jìn)行配置。
不需要復(fù)雜的樣品制備（例如光刻結(jié)構(gòu)）。
允許輕松連接到許多不同的測(cè)量設(shè)置（例如探針站、低溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)）。
節(jié)省測(cè)量時(shí)間并提高樣品通過(guò)量。
特點(diǎn):
基于集成切換矩陣的可重新配置設(shè)備架構(gòu)。 8個(gè)用戶(hù)定義通道（BNC連接器），其功能（輸入或輸出）可以自由確定。
使用固定連接進(jìn)行傳統(tǒng)的交流和直流四線測(cè)量（Kelvin/霍爾幾何）。
使用一個(gè)設(shè)備進(jìn)行交替連接的交流和直流測(cè)量（van-der-Pauw幾何）。
在無(wú)需光刻圖案的情況下同時(shí)測(cè)量縱向和橫向電阻的精確分離絕對(duì)值。
常見(jiàn)測(cè)量模式的軟件預(yù)設(shè)，但可以切換到用戶(hù)需要的任意序列。
基于TCP的通信，易于在任何環(huán)境中集成（例如LabVIEW、C、Python）。
控制軟件用戶(hù)界面：
典型測(cè)量示例:
半導(dǎo)體參數(shù)分析儀在標(biāo)準(zhǔn)幾何形狀（Kelvin和Hall布局）中進(jìn)行超低噪聲和高穩(wěn)定性的交流和直流四線測(cè)量。
在不規(guī)則、非結(jié)構(gòu)化的薄膜樣品上進(jìn)行Van-der-Pauw切換連接的四線測(cè)量。
零偏Hall四線測(cè)量（即使在非結(jié)構(gòu)化樣品上也能精確分離縱向和橫向電阻）。
亞百萬(wàn)分之一相對(duì)電阻變化的測(cè)量。
比率電阻測(cè)量，以消除樣品和器件漂移。
高驅(qū)動(dòng)諧波失真測(cè)量，脈沖和測(cè)量例行程序。
低電阻傳感器和樣品：電阻傳感器的差分輸入噪聲頻譜。超低寬帶和1/f噪聲的交流測(cè)量可精確表征和操作傳感器。
零偏Hall：消除漂移和寄生效應(yīng) 薄膜樣品上Hall測(cè)量的差分輸入噪聲頻譜。Tensormeter的零偏Hall預(yù)設(shè)消除了熱漂移，允許長(zhǎng)時(shí)間積分，并且相比于常規(guī)的4線Hall測(cè)量，靈敏度提高了數(shù)個(gè)數(shù)量級(jí)。
自旋電子學(xué)：在反鐵磁樣品熱穩(wěn)定期間磁序的喪失在Hall電阻中監(jiān)測(cè)。Tensormeter的零偏Hall預(yù)設(shè)（頂部）清晰顯示了信號(hào)的喪失。相反，在相同樣品的常規(guī)4線Hall測(cè)量中，寄生信號(hào)的貢獻(xiàn)掩蓋了有用的磁化信號(hào)（底部）。
技術(shù)參數(shù)：
電氣規(guī)格
模擬輸出 | |
對(duì)稱(chēng)輸出 | DC to 60 kHz, ±20 V, ±200 mA |
輸出噪聲底限 | < -150 dBFS |
積分非線性誤差 | 5 ppm |
時(shí)間分辨率 | 2µs脈沖和任意波形模式 |
開(kāi)關(guān)矩陣 | |
矩陣大小 | 8接口x 4模擬功能 |
最大開(kāi)關(guān)頻率 | 1 kHz |
開(kāi)關(guān)電阻 | 2.5 ?, SNS: 5.0 ? |
浮動(dòng)列阻抗 | 0.5 T? || 5 pF |
測(cè)量 | |
BJT輸入（SNS+和SNS-的復(fù)合） | 1.5 nV/√Hz, 2500 fA/√Hz |
FET輸入噪聲（SNS+和SNS-的復(fù)合） | 8 nV/√Hz, 2 fA/√Hz |
FET輸入負(fù)載 | <1 pA, 0.1 pA/V, 8 pF |
電阻測(cè)量噪聲底線 | 10 nΩ/√Hz（直接BJT輸入） |
<1 nΩ/√Hz（變壓器耦合的FET輸入） | |
增益變化 | 100 ppm/K |
<1 ppm/K（比例模式） | |
1 ppb（在有熱穩(wěn)定參考的比例模式） | |
直流偏置電壓變化 | ±1 μV/K, ±3 ppm/K |
<0.1 ppm/K (差分模式) | |
范圍 | |
串聯(lián)電阻 | 4, from 100 ? to 20 M? |
輸出電壓測(cè)量 | 4, log, from 20 V to 2 V |
輸入電壓測(cè)量 | 8, log, from 20 V to 100 mV |
電流測(cè)量 | 4 per resistor, log, from 200 mA to 100 nA |
在范圍內(nèi)的基本精度 | <1 ppm滿量程，用于輸出電壓和電流 |
<0.1 ppm滿量程，用于輸入電壓 | |
在一個(gè)范圍內(nèi)的連續(xù)動(dòng)態(tài)范圍 | > 8 digits |
相位和頻率同步 | |
輸出端口 | 任何一個(gè)前端BNC端口 |
輸入端口 | 固定:任何前端的BNC |
動(dòng)態(tài):跟隨任何模擬函數(shù) | |
同步范圍 | 2 Hz到50 kHz，任意相移 |
波形類(lèi)型 | 輸出：正弦波 |
輸入：任意信號(hào)(鎖定到主導(dǎo)頻率) | |
數(shù)字I/O端口 | |
信號(hào)電平 | 單端3.3V CMOS邏輯，正極觸發(fā) |
帶寬 | 10 MHz |
輸入函數(shù) | HI/LO，觸發(fā)(解調(diào)或脈沖產(chǎn)生)，pwm -模擬計(jì)數(shù)器，聯(lián)鎖 |
輸出函數(shù) | HI/LO，同步脈沖(開(kāi)始解調(diào)或脈沖產(chǎn)生)，模擬- pwm輸出，限位指示 |
時(shí)間延遲 | < 100 ns(到數(shù)字I/O功能) |
< 50 µs(模擬I/O功能) | |
輸出脈沖形狀 | 100µs HI脈沖，否則為LO |
硬件/安裝
大小 | 19英寸機(jī)架安裝設(shè)備，2個(gè)高度單位，32厘米深度 |
功率需求 | <75 W，通用AC單相AC輸入，C14連接器 |
操作范圍 | 0°C - 50°C，無(wú)冷凝濕度 |
前端連接器 | BNC, 50 Ω型，防護(hù)罩可切換為防護(hù)罩或底盤(pán) |
后端連接器 | BNC, 50 Ω型，屏蔽連接到機(jī)箱 |
通訊端口 | 以太網(wǎng) |
制冷 | 增壓氣流從前到后 |
前端LED指示燈 | 操作，通道選擇，都是可調(diào)的和可分離的 |
產(chǎn)品示意圖：
設(shè)備前面板包括：1. 8個(gè)BNC端口，用于多個(gè)模擬功能：驅(qū)動(dòng)、感測(cè)、參考相位鎖定。2. LED指示燈，用于指示端口功能：輸入（白色箭頭）或輸出（藍(lán)色箭頭）。3. 冷卻風(fēng)流入口（請(qǐng)勿阻擋）。4. 便于攜帶和機(jī)架安裝的把手。5. 19英寸機(jī)架安裝孔。
設(shè)備后面板包括：6. 2個(gè)BNC端口，用于多個(gè)數(shù)字功能：觸發(fā)、閾值檢查、PWM。7. 以太網(wǎng)連接器，用于主要的TCP通信。8. 帶保險(xiǎn)絲和開(kāi)關(guān)的主電源插口。9. 設(shè)備信息顯示。10. 冷卻風(fēng)流出口（請(qǐng)勿阻擋）。
貨物清單：
Tensormeter RTM2 19英寸機(jī)架安裝設(shè)備
軟件包，包括LabVIEW和Python的客戶(hù)端代碼示例（無(wú)需驅(qū)動(dòng)程序）
Tensormeter RTM2用戶(hù)指南，包括TCP命令、操作參數(shù)指南
帶F型連接器的主電源電纜（根據(jù)需要提供其他類(lèi)型）
以太網(wǎng)電纜
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
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