TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀,全自動共焦三維測量。于刀具制造工業(yè),根據(jù)多點譜線共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自動聚焦,快速獲得刀具表面三維形貌,采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統(tǒng),可以對各種復(fù)雜的刀刃及其模具進(jìn)行準(zhǔn)確的測量,具有完善的分析功能模塊,對其表面形貌進(jìn)行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等測量。
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要特點:
強(qiáng)大的多點共焦技術(shù),zui準(zhǔn)確的測量出表面形貌數(shù)據(jù)(角度、半徑、輪廓、粗糙度)
通過光學(xué)方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數(shù)
測量速度快,可整合成一個高效的在線測量系統(tǒng)
適用于陡峭的斜面,爬坡角度高達(dá)85度
垂直分辨率高達(dá)30nm
TRSCAN是*可同時獲得表面形貌和真實顏色信息的3D測量設(shè)備,測量更加精確靈活
通過腳本自動測量,更適用于批量測量,并生成圖形或數(shù)字報告
粗糙度和輪廓測量符合*EN/ISO4287標(biāo)準(zhǔn)
可用于選定區(qū)域的面積及體積計算
可選配轉(zhuǎn)臺,實現(xiàn)三維掃面
可用于復(fù)雜幾何外形的形狀分析,可測量角度、半徑等表面特征
技術(shù)參數(shù):
工作臺移動范圍X | 100mm | ||
工作臺移動范圍Y | 固定式 | ||
工作臺移動范圍Z | 240mm | ||
XYZ軸zui小位移量 | 0.1μm | ||
XYZ軸定位精度 | 1μm | ||
XY軸導(dǎo)軌直線度 | 1.5μm | ||
工件zui大重量 | 20kg | ||
測量原理 | 非接觸式多點譜線共焦傳感器 | ||
光源 | 白色LED共軸光,高強(qiáng)光,數(shù)字可控 | ||
色譜共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
測量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
軸向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
厚度zui小分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
測量zui大厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |