半自動(dòng)快速退火爐RTP-SA-12是在保護(hù)氣氛下的半自動(dòng)立式快速退火系統(tǒng)，可兼容4-12英寸晶圓Wafer。

半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

?采用紅外鹵素?zé)艄芗訜?，冷卻采用風(fēng)冷；

?快速PID溫控，可精準(zhǔn)控制溫度升溫，保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性；

?采用平行氣路進(jìn)氣方式，氣體進(jìn)出口設(shè)置在晶圓表面，避免退火過程中冷點(diǎn)產(chǎn)生，保證良好的溫度均勻性；

?大氣與真空處理方式均可選擇，實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣前氣體凈化處理；

?標(biāo)配兩組工藝氣體，最多可擴(kuò)展至6組工藝氣體。

晟鼎精密核心產(chǎn)品系列有接觸角測(cè)量?jī)x、等離子清洗機(jī)、USC干式超聲波除塵清洗機(jī)、離子靜電消除裝置、半導(dǎo)體快速退火爐等表面性能處理及檢測(cè)儀器設(shè)備。