長行程，高精度，壓電納米定位，緊湊型納米壓電定位臺SP-Mini-500

英國Prior·queenstage 推出的壓電納米定位平臺：SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺，是一款用于納米樣品定位的長行程電動Z軸，閉環(huán)行程500um。SP-Mini-500壓電納米定位臺，占地面積小，是理想的易于集成在儀器或測試設(shè)備中的緊湊型納米壓電定位臺。該Prior·queenstage的納米壓電位移平臺具有非常低的運動誤差，內(nèi)置電容式定位傳感器可實現(xiàn)超高速性能和低納米級重復(fù)性。PRIOR緊湊型納米壓電定位平臺

SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺的平臺在整個500微米的行程范圍內(nèi)保持非常穩(wěn)定的狀態(tài)。這使得樣品架可以偏移放置。此電動Z軸在保持高性能定位的同時提高了對檢測設(shè)備對于樣品的定位能力。此Prior•queenstage的壓電納米定位臺的樣品架和載物臺可以定制，以適應(yīng)從顯微鏡到硬盤測試和半導(dǎo)體檢測的廣泛應(yīng)用。

SP-Mini-500緊湊型納米壓電位移臺

緊湊型納米壓電定位臺SP-Mini-500的主要特點：

-＞500 um行程，納米級分辨率

-非常低的旋轉(zhuǎn)誤差為0.0025°

-電容式定位傳感器，提供較高位置精確度和準(zhǔn)確度。2 nm分辨率和5 nm重復(fù)度

-線性誤差一般為＜0.002%

-動態(tài)性能：空載諧振頻率一般為210 Hz，同服環(huán)路帶寬可達55 HZ

-原位掃描和步進響應(yīng)優(yōu)化

-即插即用：載物臺連接器包含載物臺校準(zhǔn)數(shù)據(jù)和參考傳感器，便于控制器互換

-壓電納米定位

SP-Mini-500壓電納米定位臺主要應(yīng)用：

 -高精度顯微鏡：共聚焦和光片等

 -硬盤檢測

 -半導(dǎo)體檢測和制造

 -配合科學(xué)和醫(yī)療研究設(shè)備使用

-鏡片定位

-納米壓電位移和納米樣品定位等

壓電納米定位臺SP-Mini-500的技術(shù)規(guī)格    

Prior電動Z軸SP-Mini-500壓電納米位移臺的可選配件：

-35 mm培養(yǎng)皿插件

-單波片夾具

納米壓電位移臺SP-Mini-500需要配合英國Prior·queenstage專門為壓電納米定位設(shè)備研發(fā)的NPC-D-6110控制器。其強大的數(shù)字控制器可以最快的速度驅(qū)動納米壓電位移臺SP-Mini-500。

PRIOR緊湊型納米壓電定位平臺