儀器簡(jiǎn)介:
HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測(cè)、趨勢(shì)分析、真空診斷的過(guò)程監(jiān)測(cè)和殘余氣體的分析。 該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成,并能在分子束外延環(huán)境中長(zhǎng)期使用。
主要特點(diǎn):
1、鉬銅布線增加MBE環(huán)境下系統(tǒng)的壽命
2、抗污染離子源護(hù)罩
3、雙法拉第/ channelplate電子倍增器
HALO 201 MBE 殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀技術(shù)規(guī)格:
·質(zhì)量數(shù)范圍:1~300 amu
·掃描速度:100amu/s
·小掃描步階:0.01amu
·靈敏度:0.1 ppm~1ppm
·穩(wěn)定性:24h以上,峰高變化小于±0.5%
·小檢測(cè)分壓:2 x 10-13 mbar
·大工作壓力:1 x 10-4 mbar