二次離子質(zhì)譜儀
1. 適合做多層薄膜的深度分析。
2. 很好的、耐用的、普通目的的二次離子質(zhì)譜儀。
3. 方便使用。
4. 樣品可以手動轉(zhuǎn)換,由于分析速度快所以每天可以分析一定數(shù)量的樣品。
5. 我們的系統(tǒng)可配置快速原子槍,使我們可以輕松處理絕緣的樣品。
6. 我們還可以做元素成像(就象化學(xué)地圖)和混合模式掃描,自動測量正、負和中性粒子。
7. 我們的系統(tǒng)是典型的超高真空工作臺,很容易滿足很多其它分析的使用。 結(jié)構(gòu)緊湊,但不損失性能。真正的高性價比。
高靈敏度脈沖離子計數(shù)檢測器,7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
SIMS 成像,分辨率在微米以下
光柵控制,增強深度分析能力
所有能量范圍內(nèi),離子行程的小擾動,及恒定離子傳輸
差式泵3級過濾四極桿,質(zhì)量數(shù)范圍至1000amu
靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器
Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護
通過RS232、RS485或Ethernet LAN,軟件 MASsoft控制