硅烷傳感器(SIH4傳感器)
一、硅烷傳感器(SIH4傳感器)概述:
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè), 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上*的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。
現(xiàn)在電子氣體的使用越來越多,半導(dǎo)體的生產(chǎn)、LED的生產(chǎn)、晶體加工、精密加工等行業(yè)帶來很多麻煩,這些毒氣的檢測(cè)都離不開SIH4.
二、選型表:
三、應(yīng)用領(lǐng)域:
生產(chǎn)過程安全檢測(cè)、環(huán)境污染檢測(cè)、大氣環(huán)境檢測(cè)、垃圾焚燒煙氣監(jiān)測(cè)
四、技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱:高精度硅烷(SIH4)傳感器 SIH4/C-50
產(chǎn)品主要參數(shù):
測(cè)量范圍:0~50ppm
zui大負(fù)載:ND
工作壽命:空氣中2年
輸出信號(hào):1000±300nA/ppm
分辨率:0.2 ppm
溫度范圍:-40°C to 45°C
壓力范圍:標(biāo)準(zhǔn)大氣壓± 10%
響應(yīng)時(shí)間(T90):﹤60sec
相對(duì)濕度范圍:15%to90%
典型基線范圍(純凈的空氣, 20 ℃ ):0 to -1ppm
zui大零點(diǎn)漂移(20°C to 40°C):ND
長(zhǎng)期輸出漂移:﹤2% signal loss/months
推薦加載電阻:10 Ω
偏置電壓:不需要
產(chǎn)品名稱:高精度硅烷(SIH4)傳感器 SIH4/M-50
產(chǎn)品主要參數(shù):
測(cè)量范圍:0~50ppm
zui大負(fù)載:ND
工作壽命:空氣中2年
輸出信號(hào):500±60nA/ppm
分辨率:0.3 ppm
溫度范圍:-40°C to 50°C
壓力范圍:標(biāo)準(zhǔn)大氣壓± 10%
響應(yīng)時(shí)間(T90):﹤60sec
相對(duì)濕度范圍:15%to90%
典型基線范圍(純凈的空氣, 20 ℃ ):0 to -1ppm
zui大零點(diǎn)漂移(20°C to 40°C):ND
長(zhǎng)期輸出漂移:﹤2% signal loss/months
推薦加載電阻:10 Ω
偏置電壓:不需要
產(chǎn)品名稱:高精度硅烷(SIH4)傳感器 SIH4/S-50-S
產(chǎn)品主要參數(shù):
測(cè)量范圍:0~50ppm
zui大負(fù)載:ND
工作壽命:空氣中2年
輸出信號(hào):1000±300nA/ppm
分辨率:0.2 ppm
溫度范圍:-40°C to 45°C
壓力范圍:標(biāo)準(zhǔn)大氣壓± 10%
響應(yīng)時(shí)間(T90):﹤60sec
相對(duì)濕度范圍:15%to90%
典型基線范圍(純凈的空氣, 20 ℃ ):0 to -1ppm
zui大零點(diǎn)漂移(20°C to 40°C):ND
長(zhǎng)期輸出漂移:﹤2% signal loss/months
推薦加載電阻:10 Ω
偏置電壓:不需要
產(chǎn)品名稱:高精度硅烷(SIH4)傳感器 SIH4/S-50
產(chǎn)品主要參數(shù):
測(cè)量范圍:0~50ppm
zui大負(fù)載:ND
工作壽命:空氣中2年
輸出信號(hào):1000±300nA/ppm
分辨率:0.2 ppm
溫度范圍:-40°C to 45°C
壓力范圍:標(biāo)準(zhǔn)大氣壓± 10%
響應(yīng)時(shí)間(T90):﹤60sec
相對(duì)濕度范圍:15%to90%
典型基線范圍(純凈的空氣, 20 ℃ ):0 to -1ppm
zui大零點(diǎn)漂移(20°C to 40°C):ND
長(zhǎng)期輸出漂移:﹤2% signal loss/months
推薦加載電阻:10 Ω
偏置電壓:不需要
五、 結(jié)構(gòu):
六、 圖片: