產(chǎn)地類別 |
國產(chǎn) |
價格區(qū)間 |
面議 |
應用領域 |
化工,綜合 |
臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產(chǎn)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產(chǎn)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 P-170的圖案識別算法、增強的光學系統(tǒng)和先進的平臺,這保證了性能的穩(wěn)定和系統(tǒng)間配方的無縫移植- 這是24x7生產(chǎn)環(huán)境的關鍵要求。
產(chǎn)品描述
P-170臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP-260的機械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機械傳送臂系統(tǒng)適用于半導體,化合物半導體和相關行業(yè)。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的分辨率相機等功能,程序設置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。
臺階儀主要功能
主要應用
臺階高度:2D和3D臺階高度
紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
形狀:2D和3D翹曲和形狀
應力:2D和3D薄膜應力
缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)應用
半導體
化合物半導體
LED:發(fā)光二極管
MEMS:微機電系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲
汽車
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