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半導(dǎo)體設(shè)備韓國(guó)LS中空軸APM-HB03HBH-SV
韓國(guó)邁克彼恩Mecapion ,其前身為韓國(guó)麥特斯Metronix 株式會(huì)社成立于1995年,于2007年3月份正式更名為邁克彼恩Mecapion,是韓國(guó)zui大的自動(dòng)化設(shè)備及機(jī)械裝置方面的核心部件即旋轉(zhuǎn)編碼器、伺服系統(tǒng)等產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)研制、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和售后服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),并獲得了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于冶金、電機(jī)、電梯、輕工機(jī)械、噴繪、紡織、半導(dǎo)體等行業(yè),在韓國(guó)電機(jī)驅(qū)動(dòng)和運(yùn)動(dòng)控制行業(yè)處于。其中伺服控制技術(shù),在整合了歐系和日系伺服系統(tǒng)的各自優(yōu)點(diǎn)的基礎(chǔ)上不斷進(jìn)行創(chuàng)新和開(kāi)發(fā),使得伺服產(chǎn)品日益完善。
邁克彼恩Mecapion 擁有伺服電機(jī)、編碼器以及伺服驅(qū)動(dòng)器等核心技術(shù)的自主開(kāi)發(fā)能力,先進(jìn)的開(kāi)發(fā)技術(shù)加上的制造工藝使得邁克彼恩Mecapion 的產(chǎn)品有很好的性價(jià)比,能夠滿足不同行業(yè)用戶的應(yīng)用要求。
伺服產(chǎn)品功率從30W到37KW范圍廣,電機(jī)法蘭大小從40到220,編碼器反饋可以選擇增量型和值型,電機(jī)軸輸出形式多樣供用戶選擇。的性能和選擇的多樣性,使得邁克彼恩Mecapion 伺服產(chǎn)品可以充分滿足各種行業(yè)的需要,得到了越來(lái)越多的用戶的認(rèn)可和支持。同時(shí)供貨期短,服務(wù)專業(yè)細(xì)致,也成為了邁克彼恩Mecapion 產(chǎn)品在市場(chǎng)中強(qiáng)有力的核心競(jìng)爭(zhēng)力。
開(kāi)發(fā)完成半導(dǎo)體設(shè)備8‘’及12‘’晶圓用 spinner電機(jī)適用于涂膠,顯影及清洗工程
實(shí)現(xiàn)率瞬間加速特性-100.000rps以上
可根據(jù)客戶的要求,定做各種SPinner電機(jī)
按照客戶的要求提供多種中空軸
采用磁性流體密封,強(qiáng)化耐環(huán)境性
表面進(jìn)行特殊涂布處理,強(qiáng)化耐腐蝕性
應(yīng)用范圍:
1,半導(dǎo)體制造工業(yè)
2,設(shè)備應(yīng)用
A.曝光顯影設(shè)備(涂膠,顯影)光刻加工程序的主要設(shè)備及掌控涂層,曝光,顯影。
B.清洗、蝕刻設(shè)備用于蝕刻,清洗,去膜設(shè)備。
C.清洗設(shè)備適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。
技術(shù)含量
設(shè)備條件
高轉(zhuǎn)速(5000rpm~8000rpm)真空軸
加/減速時(shí)間冷卻系統(tǒng)(水冷系統(tǒng))
低噪音和振動(dòng)zui低公差
中空軸尺寸zui小化處理按照客戶需求柔性定制
采用重疊設(shè)計(jì)是尺寸zui小化
LS中空軸APM-HB03HBH-SV圖片
半導(dǎo)體設(shè)備韓國(guó)LS中空軸APM-HB03HBH-SV
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