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氣體質(zhì)量流量控制器&氣體流量計(jì)

HORIBA提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產(chǎn)品都擁有高精度、快速響應(yīng)的特性。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取決于產(chǎn)品型號(hào))。我們產(chǎn)品的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。

*1 Devicenet是一種通訊方式的標(biāo)志。
*2 PROFIBUS是一種化的通訊方式標(biāo)志。

 高范圍

壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器D500
壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器: D500
高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊—氣體流量控制不受上游和下游壓力波動(dòng)差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊

性能產(chǎn)品

熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z700系列
應(yīng)用高溫技術(shù)的高可靠性，高精度數(shù)字式流量控制器

高銷量

多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X
提供多氣體，多量程的解決方案，是HORIBA的氣體質(zhì)量流量控制器。高精度，快速響應(yīng)，輕巧的尺寸。全金屬

通用（數(shù)字/模擬式 通訊模式）

數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-N100 系列
針對(duì)多種工業(yè)。多種通訊方式，數(shù)字式/模擬式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范圍控制從10SCCM到1000SLM，全金屬

通用（模擬式 通訊模式）

質(zhì)量流量控制器 SEC-E系列
適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)中，擁有眾多的銷售業(yè)績(jī)，引以為豪。 低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢(shì)的型號(hào)： SEC-E40MK3/E50MK3

 
質(zhì)量流量控制器 SEC-400系列
它是搭載有溫控閥的基本型號(hào)。
利用小型裝置的SEC-310，可以進(jìn)行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以進(jìn)行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號(hào)：SEC-405可以進(jìn)行±0.5％F.S.的流量控制.

 高溫

高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列
適用于高溫環(huán)境的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器