質(zhì)量流量計,質(zhì)量流量控制器介紹
HORIBA集團(tuán)旗下經(jīng)典,*大的產(chǎn)品即熱式質(zhì)量流量控制器,其原理是利用氣流流過毛細(xì)管造成毛細(xì)管上下游溫差從而檢測、控制氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計或流量控制器,其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時反應(yīng)氣流瞬時流量,所以適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。
應(yīng)用市場
質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、FPD、光纖、光伏、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境、食品、生物制藥等行業(yè)的氣流測量與控制。
質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計的區(qū)別
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC),具備流量測量和流量控制兩種功能。
質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM),只有流量測量功能,不具備氣流控制功能。
質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計的單位
SCCM、SLM為常見的MFC或MFM的使用單位。SCCM和SLM是指在標(biāo)準(zhǔn)條件下的體積單位。標(biāo)準(zhǔn)條件指溫度為零攝氏度,一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的條件。
SCCM–標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘
SLM–標(biāo)準(zhǔn)立方升每分鐘
1000SCCM = 1SLM
質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計使用小貼士
- 一般情況下當(dāng)一顆MFC或MFM接上電源線后,確保環(huán)境溫度穩(wěn)定并使其接電預(yù)熱15分鐘以上,可有效確保產(chǎn)品精度及穩(wěn)定性。
- 在安裝過程中,位于MFC或MFM背部大標(biāo)簽下方有指示氣體流經(jīng)的方向。
- 質(zhì)量流量控制器中的Normal Close與Normal Open的區(qū)別
Normal Close型的MFC: 斷電情況下,閥保持常關(guān)狀態(tài)的MFC。
Normal Open型的MFC: 斷電情況下,閥保持全開狀態(tài)的MFC。