ZH462型紅寶石兩探針頭(兩探針電阻率測(cè)試儀配件)間距1mm探針合力4~6N |
產(chǎn)品特點(diǎn) 1.使用幾何尺寸的紅寶石軸套,確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。 2.控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μm,探針的小游移率。 3.采用的S型懸臂式彈簧,使每根探針都具有立、準(zhǔn)確的壓力。 4.量具精度的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng),持久耐磨。 用途 測(cè)量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。 測(cè)量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。 探針間距 直線四探針:1.00mm、1.27mm、1.59mm 方形四探針:1.00mm 直線三探針:1.00mm、1.27mm、1.59mm 兩探針:1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm 指標(biāo) 游移率 B<0.5% A<0.3% AA<0.2% AAA<0.1% 間距偏差 B<3% A<2% AA<2% AAA<1% zui大針與導(dǎo)孔間隙:0.006mm 探針材料:硬質(zhì)合金(主成份:進(jìn)口碳化鎢)或高速鋼 探針壓力 標(biāo)準(zhǔn)壓力:6—10N(4根針總壓力)小壓力:1.2—5N(4根針總壓力) 1牛頓(N)=101.97克 針尖壓痕直徑:25—100μm、100—250μm(簿層) 500V緣電阻:>1000MΩ |