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化學(xué)氣相沉積

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 BTF-1200C-R-S-PECVD
  • 品牌 貝意克
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
在線詢價 收藏產(chǎn)品

更新時間:2021-10-14 13:16:40瀏覽次數(shù):5456

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
儀器種類 回轉(zhuǎn)爐 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子
迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
本款設(shè)備可以做金屬復(fù)合石墨烯材料,是目前*的金屬復(fù)合材料制備設(shè)備??梢杂糜趧恿﹄姵?,提升電池內(nèi)阻和能量密度,有效解決新能源汽車電池的問題。

詳細(xì)介紹

迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

1.該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;

2.該款設(shè)備是全自動Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD),系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)滑動溫區(qū),連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等,配備真空系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)低壓條件下的實(shí)驗(yàn),針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統(tǒng)能使整個實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。

化學(xué)氣相沉積的技術(shù)參數(shù):

型號

BTF-1200C-S-R-PECVD

顯示模式

7"液晶觸屏顯示

最高溫度

1200℃

升溫速率

10℃/S

加熱區(qū)長度 230mm

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

7"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫,模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

爐管尺寸

Φ25*800mm

爐管轉(zhuǎn)速

3~13r/min

傾斜角度

0~35°

加熱功率

3KW

射頻功率輸出范圍

0~500W

供氣系統(tǒng)

標(biāo)配三路質(zhì)量流量計(jì)(50/100/200sccm)

供電電源

220V50Hz

通訊接口

USB

外形尺寸

1600mm*650mm*1400mm

設(shè)備凈重

約220KG



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