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前端預(yù)熱滑軌式簡(jiǎn)易版PECVD

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更新時(shí)間:2024-08-01 14:05:37瀏覽次數(shù):2060

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子
前端預(yù)熱滑軌式簡(jiǎn)易版PECVD
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,隸屬百思集團(tuán),其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥萊德裝備技術(shù)有限公司、天津百諾金科技有限公司、合肥歐萊迪光電技術(shù)有限公司、安徽貝意克智能科技有限公司。貝意克公司于2020年在合肥投資5億元新建5萬平米貝意克智能裝備產(chǎn)業(yè)園。設(shè)有貝意克工程設(shè)計(jì)中心,貝意克工程技術(shù)中心,貝意克聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)公共服務(wù)平臺(tái)。

詳細(xì)介紹

前端預(yù)熱滑軌PECVD前端預(yù)熱滑軌PECVD

管式爐

爐管尺寸:外徑φ50

加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Alloy doped by Mo)

加熱區(qū)長(zhǎng)度:440mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度:200mm(±1℃)

工作溫度:1100℃

最高溫度:1200℃

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度:±1℃

升溫速度:20℃/min

爐門結(jié)構(gòu):開啟式

工作電源:AC220V/50Hz

額定功率:3KW

射頻電源

信號(hào)頻率:13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍:5W-500W

最大反射功率:200W

射頻輸出接口:5Ω,N-type,female

功率穩(wěn)定度:±0.1%

諧波分量:-50dbc

供電電壓:?jiǎn)蜗嘟涣鳎?87V-253V),頻率50/60Hz

整機(jī)效率:≥70%

功率因素:≥90%

冷卻方式:強(qiáng)制風(fēng)冷

供氣系統(tǒng)

外形尺寸:600*600*650mm

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm

準(zhǔn)確度:±1.5%

線性:±0.5%~1.5%

重復(fù)精度:±0.2%

響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4Sec,電特性:10Sec

工作壓差范圍:0.1~0.5MPa

最大壓力:3MPa

接口:φ6,1/4"

顯示:4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管:φ6

壓力真空表:-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格

截止閥:φ6

低真空機(jī)組

技術(shù)參數(shù):

功率:0.4KW(4級(jí))

極限壓力:5*10-1(Pa)

外型尺寸:600*600*650mm

電阻真空計(jì)參數(shù):

1.配用規(guī)管:電阻規(guī)

2.測(cè)量范圍:1055*10-1Pa

3.測(cè)量路數(shù):1路

4.控制范圍:5*1035*10-1Pa

5.控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力AC220V/3A(或DC28V/3A)無感負(fù)載

6.電源:90-260V/50Hz或220V±10%  50Hz

7.功耗:20W

預(yù)熱爐

工作溫度:350℃

最高溫度:400℃

最快升溫速率:30℃/min

推薦升溫速率:10℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制



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