半導(dǎo)體拋光液制備裝置是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體拋光液的專(zhuān)用設(shè)備。
它通常由以下幾個(gè)主要部分構(gòu)成：
原料儲(chǔ)存系統(tǒng)：
多個(gè)不同規(guī)格的儲(chǔ)罐，分別用于存放磨料（如納米級(jí)二氧化硅、氧化鋁等）、化學(xué)添加劑（如氧化劑、表面活性劑、螯合劑等）以及溶劑（如水、有機(jī)溶劑等）。
精確計(jì)量系統(tǒng)：
高精度的計(jì)量泵或稱(chēng)重傳感器，能夠按照精確的配方比例準(zhǔn)確地添加各種原料。
攪拌混合系統(tǒng)：
強(qiáng)力攪拌器或均質(zhì)機(jī)，確保各種原料充分混合均勻，達(dá)到微觀層面的均勻性。
溫度控制系統(tǒng)：
加熱和冷卻裝置，可根據(jù)需要控制反應(yīng)和混合過(guò)程中的溫度，以?xún)?yōu)化化學(xué)反應(yīng)和物理混合效果。
過(guò)濾系統(tǒng)：
精細(xì)的過(guò)濾裝置，如微孔過(guò)濾器或超濾膜，用于去除可能存在的大顆粒雜質(zhì)和團(tuán)聚物，保證拋光液的純凈度。
質(zhì)量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)：
在線(xiàn)粒度分析儀：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)磨料顆粒的粒徑分布。
pH 計(jì)：檢測(cè)溶液的酸堿度。
電導(dǎo)率儀：測(cè)量溶液的電導(dǎo)率，以評(píng)估溶液中離子的含量。
自動(dòng)化控制系統(tǒng)：
對(duì)整個(gè)制備過(guò)程進(jìn)行自動(dòng)化控制和數(shù)據(jù)記錄，保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。
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