目錄:北京瑞科中儀科技有限公司>>電子束>>激光光刻系統(tǒng)>> 激光 分子束外延系統(tǒng)
| 腔體尺寸 | 球形腔體，直徑：400 mm | 樣品尺寸 | 1 英寸或 2 英寸向下兼容 |
|---|---|---|---|
| 樣品加熱 | 輻射式加熱 / 電阻式加熱 / 激光加熱 1000 ℃ / 950 ℃ / 1400 ℃ | RHEED | 兩級差分，30 kV |
| 靶臺操控 | 6 靶位，1 英寸靶托，公自轉(zhuǎn)設(shè)計 | 抽氣泵組 | 進口：Pfeiffer分子泵，685 l/s Leybold干泵，14.5 m3/h |
| 氣路 | 進口：質(zhì)量流量計MKS，50 / 100 sccm | 控壓方式 | 手動角閥/漏閥控壓 |
| 極限真空 | 5 x 10-9 mbar | 光路支架 | 可根據(jù)用戶現(xiàn)場定制 |
| 軟件控制 | 動作程序控制，軟件編程控制工藝，設(shè)備全套互鎖 |
激光 分子束外延系統(tǒng)是一種用于物理學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗儀器，綜合了脈沖激光沉積和分子束外延的特點和優(yōu)勢。它能在高真空、真空條件下實現(xiàn)原位實時監(jiān)控薄膜原子尺度層狀外延生長。這一系統(tǒng)適用于多種有機、無機薄膜的制備，尤其適宜于用其它制膜設(shè)備和方法難以制備的高熔點、多元素（特別是含有氣體元素時）、復(fù)雜層狀結(jié)構(gòu)的薄膜和超晶格的制備。此外，它還可以同時進行激光與物質(zhì)相互作用及成膜過程的物理、化學(xué)觀測，為探索、開發(fā)新材料、新器件及相關(guān)基礎(chǔ)研究提供了一個強有力的平臺。
以上內(nèi)容僅供參考，如需更多信息，可咨詢激光分子束外延系統(tǒng)方面的專家。激光分子束外延系統(tǒng)的核心部分是激光脈沖沉積系統(tǒng)，該系統(tǒng)使用高能量的脈沖激光束照射靶材，使靶材表面瞬間達到高溫高壓狀態(tài)，進而蒸發(fā)、離化靶材原子或分子，形成高溫、高密度的等離子體羽輝。這些離子、原子或分子在羽輝中迅速冷卻并定向傳輸?shù)交砻?，最終沉積形成薄膜。
激光 分子束外延系統(tǒng)的另一個重要組成部分是超高真空系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠在生長過程中保持真空度，有效防止雜質(zhì)和污染物對薄膜生長的影響。同時，該系統(tǒng)還配備了多種原位監(jiān)測和表征手段，如反射式高能電子衍射儀（RHEED）、光學(xué)顯微鏡、橢偏儀等，可以對薄膜生長過程進行實時監(jiān)控和精確控制。
此外，激光分子束外延系統(tǒng)還具有高度的靈活性和可擴展性。通過改變靶材和基片的種類，以及調(diào)整激光參數(shù)和生長條件，可以制備出各種不同類型、不同性能的薄膜材料。同時，該系統(tǒng)還可以與其他先進的實驗設(shè)備和技術(shù)相結(jié)合，如原子力顯微鏡（AFM）、掃描隧道顯微鏡（STM）等，以進一步探索薄膜材料的物理和化學(xué)性質(zhì)。
總之，激光分子束外延系統(tǒng)是一種功能強大、應(yīng)用廣泛的薄膜制備技術(shù)，它在材料科學(xué)、物理學(xué)、電子學(xué)等領(lǐng)域的研究和應(yīng)用中發(fā)揮著重要作用。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，激光分子束外延系統(tǒng)將在更多領(lǐng)域展現(xiàn)出的優(yōu)勢和潛力。
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