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光學(xué)材料研究(LED/Laser Diode)。

光電元件。

半導(dǎo)體元件。

由304不銹鋼所製成，通過(guò)外部焊

接304不銹鋼管線對(duì)腔體進(jìn)行水冷。

寬大的前開(kāi)式門，並有兩個(gè)視窗和

視窗遮版用於觀察基材和電子束源。

腔體的極限真空度約為10-8 Torr。

客製化的基板尺寸，最大直徑可達(dá)12寸晶圓。

單載片或多載片（2" x 32個(gè)，4" x 16個(gè)，6" x 6個(gè)，8" x 4個(gè)）。

優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3％。

具有水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子

束源（1/2/4/6坩堝）。

自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)。

具有順序操作或共沉積的多個(gè)電子束源。

基板具有冷卻（液態(tài)氮溫度低至-70°C）或加熱（溫度最高800°C）等功能。

可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱

整合在一起。

結(jié)合離子源、濺鍍槍、熱蒸發(fā)源、

等離子清潔...。