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CHIPSCANNER 將高分辨率電子光學、多個高效電子探測器和超精密激光干涉儀平臺技術(shù)與軟件相結(jié)合，為每層提供均勻的大面積圖像馬賽克，具有最小的拼接誤差和穩(wěn)定的亮度/對比度值和 CAD形狀提取。具有諸如
使用激光高度感應進行主動對焦控制
最高的位置和光束精度和穩(wěn)定性，以及
多種可選電子探測器，
CHIPSCANNER 可生成由 SEM 儀器直接采集的精確的大面積、高分辨率圖像馬賽克。由于每個像素的絕對位置（甚至超過 cm2）最終由激光干涉儀平臺和超精密圖像校準提供的精度得知，因此可以精確地堆疊這些圖像（ 3D 縫合）。
各種高速探測器、靈活的工作距離、并行探測器流處理和高速掃描發(fā)生器可實現(xiàn)精確、靈活的圖像采集，同時具有高吞吐量。
芯片逆向工程、材料科學和生命科學（例如連接組學）中的大面積、超高分辨率3D SEM 成像應用需要以納米分辨率和出色的層間精度（“3D拼接'）用于布局和原理圖提取或 3D 建模。雖然傳統(tǒng) SEM 儀器本質(zhì)上受到小、未校準的視場 (FOV) 和不精確的樣品定位的限制，但 CHIPSCANNER 通過將 SEM 儀器的分辨率和靈活性與準確性、穩(wěn)定性和自動化相結(jié)合來解決這些挑戰(zhàn)電子束光刻 (EBL) 儀器的應用——Raith 的核心專業(yè)領(lǐng)域。通過捕獲連續(xù)的 SEM 圖像并將它們拼接在一起以進行進一步分析，可以創(chuàng)建高分辨率、大面積的圖像馬賽克，而激光干涉儀平臺和視場校準將重疊減少到絕對最小值，從而減少所需的計算。真正的大面積 3D SEM！
木馬、芯片設計恢復、 備件供應、IP 保護和索賠證明只是 CHIPSCANNER 幫助解決的眾多挑戰(zhàn)中的一小部分。最初是為集成電路分析
領(lǐng)域出現(xiàn)的苛刻要求和工作負載而設計的，CHIPSCANNER 不僅提供最高精度的準確結(jié)果。它還允許以納米分辨率和出色的層間精度掃描芯片或任何其他樣本，以實現(xiàn) 3D 模型、布局和可選的網(wǎng)表提取。在內(nèi)存容量和處理時間方面都可以輕松處理高量的數(shù)據(jù)。軟件工具可用于進一步處理圖像，以提取和優(yōu)化有價值的 CAD 數(shù)據(jù)（用于掩模生成或布局比較）。
50 kx 50 k 像素
多個cm2
<1納米
材料科學和生命科學領(lǐng)域的一系列應用可以利用最初為半導體樣品成像而設計的出色成像功能。可能的用途是多方面的，因為 CHIPSCANNER 能夠為任何給定的基材提供納米分辨率的均勻 cm2 大圖像馬賽克。帶有 GUI 的直觀軟件簡化了工作，即使沒有 EBL 經(jīng)驗的用戶也可以使用該系統(tǒng)并達到預期的結(jié)果。聯(lián)系我們討論您的具體問題。
就 CHIPSCANNER 而言，規(guī)格和系統(tǒng)性能參數(shù)無疑是決策的驅(qū)動因素。然而，如果要確保系統(tǒng)在整個生命周期內(nèi)的高效運行、連續(xù)正常運行時間以及后續(xù)的可靠支持，還需要考慮更多因素。
Raith Service 擁有一支由專業(yè)服務工程師組成的全球團隊，確保您能夠充分利用您的系統(tǒng)。當您決定使用 Raith 系統(tǒng)時，始終包括所有現(xiàn)場調(diào)查以及環(huán)境測量、對最終潔凈室實驗室設置的支持、工廠和現(xiàn)場驗收以及全面的現(xiàn)場培訓。此外，全球所有時區(qū)均免費提供應用程序支持。
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