XYθ（Theta）對位平臺直線電機多軸平臺基于與伺服控制技術(shù)相互兩全的高性能控制平臺。

可對應(yīng)定位精度、速度穩(wěn)定性、長行程、客制品等各種要求。

也可構(gòu)建X、XY、Xθ（Theta）、XYθ（Theta）軸平臺。

行程100-21300mm.

XYθ（Theta）對位平臺直線電機多軸平臺結(jié)構(gòu)緊湊、低組裝，大中空孔，高動態(tài)性和優(yōu)異的幾何性能。

平臺從需要高動態(tài)性和微米級直線度的雙面晶圓加工，到由DX B、ARC無鐵芯電機驅(qū)動的準(zhǔn)靜態(tài)光學(xué)量測,需要高精度和精確的幾何性能。

應(yīng)用場景

對位平臺

XYθ對位平臺

UVW對位平臺

對位系統(tǒng)

網(wǎng)印視覺對位

COG視覺對位

切割對位系統(tǒng)

曝光對位系統(tǒng)

貼合機對位系統(tǒng)

裝配視覺對位

該平臺屬于LMH三軸平臺系列，具有高分辨率，高重復(fù)定位精度，廣泛應(yīng)用于光學(xué)測量儀器，晶圓對準(zhǔn)，LCD面板檢測，半導(dǎo)體處理，激光切割和鉆孔，復(fù)合機等.