射頻磁控濺射鍍膜裝置 

主要用途：本設(shè)備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級單層膜；如各種硬質(zhì)膜、金屬膜；也可以是非金屬、化合物等薄膜材料?？梢赃M行直接濺射，亦可以實現(xiàn)反應(yīng)濺射。

射頻磁控濺射鍍膜裝置 

主要特點：結(jié)構(gòu)簡捷、操作簡便，真空度維護高，安全可靠。

鍍膜機應(yīng)安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內(nèi)，并具備清潔水源、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。

1、地面的基本水平度要經(jīng)過調(diào)整，不得高低不平；

2、環(huán)境溫度：10℃～30℃；

3、相對濕度：不大于75%；

4、耗水量（進水溫度≤25℃，2.5Kg≥水壓≥1.5Kg）：約0.2T/h；

5、水質(zhì)要求：

矽酸硬度<6度，PH值：7－8，電導(dǎo)率：200us/cm,沉積率：<200mg/L。

6、電壓： 220V，50H_Z，

電壓波動范圍： 198～231V；

頻率波動范圍：49～51Hz;

7、水壓：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8、充入氣體純度99.9%或以上;

9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

設(shè)備規(guī)格參數(shù)

1.1、濺射處理室：

       1、鐘罩：內(nèi)徑225mm×高度260mm；

       2、試樣臺：直徑80mm（）；

       3、試樣旋轉(zhuǎn)：靜止；

       4、擋板：手動；

       5、襯底加熱器：不銹鋼加熱器（DC24V）；

       6、襯底溫度范圍：室溫～200℃；

       7、襯底可調(diào)距離：20mm～60mm；

       8、濺射室限真空：0.5Pa

1.2、真空系統(tǒng)：

       1、抽氣系統(tǒng)：由機械泵組成的一級真空系統(tǒng)；抽氣速率：4升/S

       2、真空檢測：電阻真空計、電阻規(guī)；

       3、常用真空度：1～20Pa

       4、操作：手動

1.3、濺射電源：

1、射頻電源：頻率13.560MHZ,功率：500W，用表指示；

2、阻抗匹配器范圍：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω； 

3、供電：AC 220V；

4、冷卻方式：風(fēng)冷；

  1.4、 磁控靶：

1、靶材直徑：Ф50mm、 一個永磁靶；

2、靶材厚度：3～6mm；

1.5、進氣系統(tǒng)：2路轉(zhuǎn)子流量計進氣，

1.6、電源要求：AC 220V  50Hz  10A

1.7、氣體要求：氬氣--純度99.9%（樣品有特殊要求時使用高純）

1.8、冷卻要求：靶體水冷，濺射電源風(fēng)冷

1.9、體積重量：體積：L550mm×W680mm×H1480mm；約120kg

產(chǎn)品名稱：粗糙度儀 便攜式表面粗糙度儀  產(chǎn)品型號： RL100

粗糙度儀/便攜式表面粗糙度儀 型號：RL100

RL100是我公司推出的新一代粗糙度儀，也叫袖珍便攜式表面粗糙度儀。它具有測量精度高、測量范圍寬、操作簡便、便于攜帶、工作穩(wěn)定等特點，可以廣泛應(yīng)用于各種金屬與非金屬的加工表面的檢測，該粗糙度儀是傳感器主機一體化的袖珍式粗糙度儀，具有手持式特點，更適宜在生產(chǎn)現(xiàn)場使用。外形采用拉鋁模具設(shè)計，堅固耐用，抗電磁干擾能力顯著，符合當今設(shè)計新趨勢。 
優(yōu)點: 
用優(yōu)化的電路設(shè)計及傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計,將電箱、驅(qū)動器及顯示部分合為一體，使其達到高度集成化；任意選擇Ra、Rz、Rq、Rt測量參數(shù)；不僅可以測量外圓、平面、錐面，還可測長寬大于80×30mm的溝槽。 

功能特點： 
采用高速DSP處理器進行數(shù)據(jù)處理和計算，測量和運算速度大提高。顯示液晶采用流行的OLED顯示屏，高亮度，無視角，寬溫度，適合各種場合使用。 
采用鋰離子充電電池，可長時間工作，無記憶效應(yīng)，可邊充電邊工作，充電時間短，電池壽命長。 
使用通用的USB接口進行充電和通訊。采用的充電器或計算機的USB口進行充電，方便快捷。 
點陣液晶顯示，界面提示信息豐富。 
實時監(jiān)測鋰電電池電量并顯示，及時提醒用戶進行充電并具有充電進度提示。 
自動關(guān)機功能以及低功耗軟硬件設(shè)計使儀器工作時間長，適合各種現(xiàn)場使用。 
傳感器測頭具有保護門，有效的保護了傳感器測頭，保證了測量的精度。 
  
工作原理： 
  當傳感器在驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動下沿被測表面作勻速直線運動時，其內(nèi)部垂直于工作表面的觸針隨工作表面的微觀不平輪廓產(chǎn)生垂直方向的位移，再通過傳感器將位移變化量轉(zhuǎn)換成電量的變化，將該電信號進行放大，濾波，經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，再經(jīng)DSP處理，計算出Ra、Rz值并顯示。 
技術(shù)參數(shù)： 
測量參數(shù)（μm ）：Ra、Rz、Rq、Rt 
行程長度（mm）：6 
取樣長度（mm）：0.25 ，0.80 ，2.50 
評定長度（mm）：1.25 ，4.0 ， 
測量范圍（μm ）：  
                Ra：    0.05 ~ 10.0 
                Rz：     0.1 ~ 50 
示值誤差：±15% 
示值變動性： ＜12% 
傳感器觸針針尖圓弧半徑及角度： 
                針尖圓弧半徑：10 μm±1 μm  
傳感器觸針靜測力及其變化率： 
                觸針靜測力：    ≤ 0.016N 
                測力變化率：    ≤ 800N/m 
傳感器導(dǎo)頭壓力： ≤ 0.5N 
電池：3.7V鋰離子電池 
外形尺寸：106 mm×70 mm×24 mm 
重量：200g 
工作環(huán)境條件: 
                溫    度：  -20℃～40℃ 
                相對濕度：   <  90% 
                周圍無振動、無腐蝕性介質(zhì) 
  
日常維護與保養(yǎng)： 
避免碰撞、劇烈震動、重塵、潮濕、油污、強磁場等情況； 
每次測量完畢，要及時關(guān)掉電源，以保持電池能量，并應(yīng)及時對電池進行充電； 
傳感器是儀器的精密部件，切記精心維護。每次使用完畢，要將儀器的保護蓋輕輕蓋好。避免對傳感器造成劇烈的振動；隨機標準樣板應(yīng)精心保護，以免劃傷后造成校準儀器失準