電子薄膜應(yīng)力分布測試儀

該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率

電子薄膜應(yīng)力分布測試儀半徑測量測試。該儀器總測量點(diǎn)數(shù)多, 能給出全場面型分布結(jié)果, 適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗(yàn)和微電子生產(chǎn)工藝研究。

儀器基于干涉計(jì)量的全場測試原理, 可實(shí)時(shí)觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應(yīng)力集中位置, 及時(shí)淘汰早期失效產(chǎn)品。

產(chǎn)品名稱：純彎曲梁試驗(yàn)裝置 產(chǎn)品型號：XL3416

純彎曲梁試驗(yàn)裝置型號：XL3416

純彎曲梁試驗(yàn)裝置技術(shù)參數(shù)
一、特點(diǎn)： 
1、移動(dòng)方便、數(shù)字顯示、結(jié)構(gòu)簡潔、加載方便、測量準(zhǔn)確 
2、采用蝸桿機(jī)構(gòu)以螺旋千斤進(jìn)行加載，操作省力，加載穩(wěn)定， 
3、剎車腳輪方便移動(dòng)和固定 
二、組成：  
純彎曲梁實(shí)驗(yàn)裝置由實(shí)驗(yàn)臺(tái)+拉壓力傳感器+標(biāo)準(zhǔn)試件（應(yīng)變片貼好）組成  
三、實(shí)驗(yàn)用途： 
1、純彎曲梁橫截面上正應(yīng)力的分布規(guī)律實(shí)驗(yàn) 
2、材料彈性模量E，泊松比µ的測定（選配） 
3、偏心拉伸實(shí)驗(yàn)（選配） 
4、壓桿穩(wěn)定實(shí)驗(yàn)（選配） 
四、技術(shù)參數(shù)： 
1、 載荷范圍：5000N； 
2、 加載機(jī)構(gòu)作用行程：50mm； 
3、 手輪加載轉(zhuǎn)矩：0～2.6N.m； 
4、 加載速度：0.12mm/轉(zhuǎn)； 
5、 載荷靈敏度：1N； 
6、 過載能力：150%； 
7、 外形尺寸：750×450×1000； 
8、 重量：45kg。